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ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡(JSM-7001F)

メーカー名
日本電子株式会社
型番
JSM7001F
仕様
・電界放出形電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.2 nm (加速電圧30 kV)、3.0 nm (加速電圧1 kV)
・倍率:10~1百万倍
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属(JED-2300)
 エネルギー分解能:133 eV以下
 検出可能元素:B~U
・EBSD:TSL OIM
 DigiView 4.0、 Analysis 8.3
・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
中小企業11,000円/時間
大企業22,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

卓上電子顕微鏡 [TM3000]

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番
TM3000
仕様
・反射電子観察
・最大倍率: 50000
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

FE-SEM+EDX [S-4800]

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所
型番
S4800 / X-MAX 80
仕様
・加速電圧:0.5~30kV ,
・最大倍率:800k ,
・検出器:SE/BSE
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
中小企業11,000円/時間
大企業22,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

FE-SEM+EDX [SU8000]

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番
SU8000 / Quantax FQ5060
仕様
・加速電圧: 0.5~5kV ,
・最大倍率:800k ,
・加速電圧:SE/BSE
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
中小企業11,000円/時間
大企業22,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

FE-SEM+EDX [SU8230]

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
SU8230
仕様
・冷陰極電界放出電子銃
・分解能:0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・付加機能:EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
中小企業11,000円/時間
大企業22,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]

メーカー名
オックスフォード・インストゥルメンツ Oxford Instruments
型番
Jupiter XR
仕様
・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90μm
・ステージ可動範囲:200mm角
・試料サイズ:最大φ8インチ

【特徴】・高速スキャン ・広域アクセス ・多様なイメージングモード ・光熱励振タッピング
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]

メーカー名
SII ナノテクノロジー(株)
型番
L-Trace
仕様
・測定モード:コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡
・走査範囲:水平100 x 100 um
・最大試料サイズ: 6インチφ
・付加機能:I-V測定及びマッピング
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

液中原子間力顕微鏡

メーカー名
ブルカージャパン株式会社
型番
NanoWizard 4 XP
仕様
【AFM測定】
・測定環境:大気中、液中
・走査範囲:水平100µm、垂直15µm
・動作モード:コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率:10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法:明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ:10倍、40倍
【その他】
・温度制御:室温~+60℃まで
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
バイオ分析ユニット

デジタル顕微鏡(RH-8800)

メーカー名
ハイロックス
型番
RH-8800
仕様
3次元の光学測定が可能。最大倍率7000倍。
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

触針式プロファイラー [Dektak XT-A]

メーカー名
ブルカージャパン Bruker
型番
Dektak XT-A
仕様
・分解能:1Å(6.5μmレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・試料サイズ:最大φ8インチ
・その他:自動ステージ、3Dマップ・粗さ・ストレス測定
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

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