室温プローバー [MX-200/B]
装置名称 | 室温プローバー [MX-200/B] |
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メーカー名 | ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー |
型番 | MX-200/B, B1500A |
用途 | ・I-V/C-V特性評価 ・微細加工(電気測定) |
仕様 | ・プローブ 同軸プローブ ・マニピュレータ 4基 ・I-V測定端子 4ユニット ・C-V測定端子 1ユニット ・試料サイズ 最大φ4インチ |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟1F |
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