室温プローバー [HMP-400]
装置名称 | 室温プローバー [HMP-400] |
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メーカー名 | アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株) |
型番 | B1500A |
用途 | ・微細加工(電気測定) |
仕様 | ・サンプルサイズ:最大4 inch Φ ・マニピュレーター:4本 ・半導体パラメータアナライザ:IV 4系統, CV 1系統 ・試料台加熱機能 |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
設置場所 | 並木地区 MANA棟 |
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