低温プローバー [GRAIL-408-32-B]
装置名称 | 低温プローバー [GRAIL-408-32-B] |
---|---|
メーカー名 | Keithley,ナガセ電子機器 |
型番 | 4200 SCS, Grail-408-32-B |
用途 | ・微細加工(電気測定) |
仕様 | ・温度範囲:8~300 K ・サンプルサイズ:最大4 inch Φ ・マニピュレーター:4本 ・半導体パラメータアナライザ:4系統 ・高速パルスI-V測定 |
利用時間単位 | 時間(1h) |
---|---|
機器利用料金(税抜金額) |
|
利用可能形態 |
|
マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
設置場所 | 並木地区 MANA棟 |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。