飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
装置名称 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) |
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メーカー名 | アルバック・ファイ(株) |
型番 | PHI TRIFT V nanoTOF |
用途 | ・固体試料の最表面に存在する成分原子・分子分析 |
仕様 | ・Biクラスターイオンビーム ・加速電圧:30 kV ・空間分解能:<100 nm(低質量分析)、<1.0 μm(高質量分析) ・質料分解能:>11,000(低質料分子イオン:SiH+等)、>15,000(高質量分子イオン:>200 Da) ・ 深さ方向分析用スパッタビーム:Biイオン、Arイオン、またはO2イオンを選択可能 ・ 2D/3D分析可能 ・トリプルフォーカス静電アナライザ搭載 ・トランスファーベッセル ・最大試料サイズ: φ20 x 5 mm(標準ホルダー) |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 123号室 |
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