マルチガス導入グロー放電質量分析システム（VG9000）
| 装置名称 | マルチガス導入グロー放電質量分析システム（VG9000） |
|---|---|
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) |
| 型番 | VG9000 |
| 用途 | ・金属・セラミックス試料の高感度分析 ・薄膜試料の分析が可能 ・相対感度係数による高い精確さを有する分析が可能 |
| 仕様 | ・質量分析器：Nier-Johnson配置二重収束型 ・イオン検出器：ファラデー検出器、イオン計数デイリー検出器 ・質量分析範囲：7～240 amu ・プラズマ・イオン種：Ar、He ・液体窒素冷却型試料冷却システム |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 ファインプロセス実験棟 311号室 |
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