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電界放出形走査電子顕微鏡(S-5500)

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
S-5500
仕様
・冷陰極電界放出形電子銃
・インレンズ型対物レンズを搭載し、超高分解能観察が可能
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:0.4 nm(加速電圧30 kV)、 1.6 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:60~1万倍(低倍率モード)、800~2百万倍(高倍率モード)
・最大試料サイズ
 平面:5.0 mm x 9.5 mm x 3.5 mm
 断面:2.0 mm x 6.5 mm x 5.0 mm
・透過電子検出器(BF、DF)搭載
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

電界放出形走査電子顕微鏡(JSM-6500F)

メーカー名
日本電子(株)
型番
JSM-6500F
仕様
・電界放出形電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.5 nm(加速電圧15 kV)、 5.0 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:10~50万倍
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属(JED-2300)
 エネルギー分解能:133 eV以下
 検出可能元素:B~U
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

走査電子顕微鏡(JSM-6510)

メーカー名
日本電子(株)
型番
JSM-6510
仕様
・Wフィラメント電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子分解能:3.0 nm(加速電圧30 kV)、 8.0 nm (加速電圧3 kV)、 15.0 nm(加速電圧1 kV)
・倍率:5~30万倍
・最大試料サイズ:φ150 mm
・操作ナビ画面にナビゲーション表示
・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

走査型電子顕微鏡(JSM-7000F)

メーカー名
日本電子(株)
型番
JSM-7000F
仕様
・加速電圧:30kV
・分解能:1.2nm@30kV
・分解能:3nm@1kV
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ユニット

走査型電子顕微鏡

メーカー名
日本電子(株)
型番
JEOL JSM-7900F
仕様
金属・セラミクス試料の分析・方位マップ取得。
多彩な検出器による組織情報の抽出
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業6,000円/時間
中小企業10,000円/時間
大企業20,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ユニット

ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡

メーカー名
日本電子株式会社
型番
JSM7001F
仕様
・電界放出形電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・二次電子像分解能:1.2 nm (加速電圧30 kV)、3.0 nm (加速電圧1 kV)
・倍率:10~1百万倍
・最大試料サイズ:φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属(JED-2300)
 エネルギー分解能:133 eV以下
 検出可能元素:B~U
・EBSD:TSL OIM
 DigiView 4.0、 Analysis 8.3
・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業6,000円/時間
中小企業10,000円/時間
大企業20,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

卓上電子顕微鏡

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
Miniscope TM3000
仕様
・倍率 15倍~30,000倍
・観察モード 通常モード、帯電軽減モード
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
バイオ分析ユニット

卓上電子顕微鏡 [TM3000]

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番
TM3000
仕様
・反射電子観察
・最大倍率: 50000
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

卓上電子顕微鏡(TM4000PlusII)

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
TM4000PlusII
仕様
・倍率:10倍 ~10万倍
・加速電圧 : 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
・画像信号 : 反射電子, 二次電子
・真空モード:導電体(反射電子のみ)、標準、帯電軽減
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
バイオ分析ユニット

FE-SEM [S-4800]

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
S-4800
仕様
・電子銃 ZrO/W 電界放射型
・加速電圧 0.1-30kV
・2次電子像分解能 1.0nm (ノーマル:15kV) 1.4nm (リターディング:1.0kV)
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

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