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ICP-RIE装置 [CE300I]
- メーカー名
- (株)アルバック
- 型番
- CE300I
- 仕様
- ・エッチングガス：Ar、O2、SF6、Cl2、 BCl3、｛CF4、CHF3、C4F8のうち一つ｝
・圧力：0.07～13.3 Pa
・プラズマ電力：最大1kW
・バイアス電力：最大300W
・基板寸法：最大152 mmφ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]
- メーカー名
- アドバンス理工株式会社
- 型番
- RTP-6
- 仕様
- ・温度範囲：室温～1000℃
・加熱方式：赤外ゴールドイメージ炉、9ゾーン制御
・加熱性能：最大 10℃/s
・プロセスガス：N2, Ar+H2(3%), Ar, O2, 真空置換機能あり
・試料台材質・サイズ：SiCコートグラファイト、6インチφ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
ダイシングソー [DAD3220]
- メーカー名
- ディスコ
- 型番
- DAD-3220
- 仕様
- ・ブレード種：Si用及びAl2O3切断用ブレード
・ウェハサイズ：最大φ6インチ
・切断位置決め精度：5μm以内（CCDカメラによる位置指定）
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
並木クリーンルーム
- メーカー名
- ヤマト科学(株)、ミカサ（株）、オリンパス（株）
- 型番
- ー
- 仕様
- ・スピンコーター（500-8000rpm、プログラム可能）
・ホットプレート（室温～350℃）
・有機/無機ドラフトチャンバー
・金属顕微鏡（対物 x5～x100、明/暗視野、微分干渉像）
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク
- 型番
- Ethos NX5000
- 仕様
- 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5－30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1－30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム：加速電圧0.5－2kV、最大ビーム電流20nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- TM3000
- 仕様
- ・反射電子観察
・最大倍率: 50000
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [S-4800]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所
- 型番
- S4800 / X-MAX 80
- 仕様
- ・加速電圧:0.5～30kV ,
・最大倍率:800k ,
・検出器:SE/BSE
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [SU8000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- SU8000 / Quantax FQ5060
- 仕様
- ・加速電圧: 0.5～5kV ,
・最大倍率:800k ,
・加速電圧:SE/BSE
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [SU8230]
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8230
- 仕様
- ・冷陰極電界放出電子銃
・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・付加機能：EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
マルチコーター（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- 真空デバイス
- 型番
- VES-30T
- 仕様
- ・蒸着
・イオンスパッタ
・親水処理
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
"並木（つくば）"で検索した結果 49件