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FE-SEM+EDX [SU8000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- SU8000 / Quantax FQ5060
- 仕様
- ・加速電圧: 0.5~5kV ,
・最大倍率:800k ,
・加速電圧:SE/BSE
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,000円/時間
- 中小企業10,000円/時間
- 大企業20,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [SU8230]
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8230
- 仕様
- ・冷陰極電界放出電子銃
・分解能:0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・付加機能:EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,000円/時間
- 中小企業10,000円/時間
- 大企業20,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
イオンスパッタ [E-1045]
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- E-1045
- 仕様
- ・成膜材料:白金、カーボン
・プラチナ成膜方式:ダイオード放電マグネトロン型
・カーボン成膜方式:直接通電加熱蒸着
・試料サイズ:最大φ60mm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
- メーカー名
- オックスフォード・インストゥルメンツ Oxford Instruments
- 型番
- Jupiter XR
- 仕様
- ・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90μm
・ステージ可動範囲:200mm角
・試料サイズ:最大φ8インチ
【特徴】・高速スキャン ・広域アクセス ・多様なイメージングモード ・光熱励振タッピング
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
- メーカー名
- SII ナノテクノロジー(株)
- 型番
- L-Trace
- 仕様
- ・測定モード:コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡
・走査範囲:水平100 x 100 um
・最大試料サイズ: 6インチφ
・付加機能:I-V測定及びマッピング
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]
- メーカー名
- ブルカージャパン(株)
- 型番
- Nanoscope 5
- 仕様
- 【測定モード】
Contact AFM , Tapping AFM , MFM, Electro chemical , STM , Liquid-phase AFM.
【Scanner】
17µ/1.3µ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
- メーカー名
- オリンパス
- 型番
- LEXT OLS4000
- 仕様
- ・光源 405nm半導体レーザー
・分解能 XY:0.12um/Z:0.01um
・繰り返し性 XY:3σ=0.02um,/Z:1σ=0.012um(対物レンズ100倍時)
・観察モード レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察
・試料サイズ 100mm角以下
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
レーザー顕微鏡 [VK-9700]
- メーカー名
- キーエンス
- 型番
- VK9-9700G
- 仕様
- 【測定項目】Surface roughness, Height, Thickness of transparent film
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
- メーカー名
- ブルカージャパン Bruker
- 型番
- Dektak XT-A
- 仕様
- ・分解能:1Å(6.5μmレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・試料サイズ:最大φ8インチ
・その他:自動ステージ、3Dマップ・粗さ・ストレス測定
等
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
触針式プロファイラー [Dektak 6M]
- メーカー名
- ブルカージャパン(株)
- 型番
- DekTak 6M
- 仕様
- ・垂直分解能:0.1 nm
・最大垂直測定幅:262 µm
・測定長さ:50 µm~30 mm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
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