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触針式プロファイラー [Dektak 6M]
- メーカー名
- ブルカージャパン(株)
- 型番
- DekTak 6M
- 仕様
- ・垂直分解能：0.1 nm
・最大垂直測定幅：262 µm
・測定長さ：50 µm～30 mm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
室温プローバー [MX-200/B]
- メーカー名
- ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー
- 型番
- MX-200/B, B1500A
- 仕様
- ・プローブ 同軸プローブ
・マニピュレータ 4基
・I-V測定端子 4ユニット
・C-V測定端子 1ユニット
・試料サイズ 最大φ4インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
室温プローバー [HMP-400]
- メーカー名
- アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株)
- 型番
- B1500A
- 仕様
- ・サンプルサイズ：最大4 inch Φ
・マニピュレーター：4本
・半導体パラメータアナライザ：IV 4系統, CV 1系統
・試料台加熱機能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
低温プローバー [GRAIL-408-32-B]
- メーカー名
- Keithley,ナガセ電子機器
- 型番
- 4200 SCS, Grail-408-32-B
- 仕様
- ・温度範囲：8～300 K
・サンプルサイズ：最大4 inch Φ
・マニピュレーター：4本
・半導体パラメータアナライザ：4系統
・高速パルスI-V測定
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
液体窒素プローバー [SB-LN2]
- メーカー名
- サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ
- 型番
- SB-LN2PS, 4200-SCS
- 仕様
- ・測定温度：77K～500K
・試料冷却方式：液体窒素
・プローブ：SMAプローブ
・マニピュレータ：4基
・I-V測定端子：4ユニット
・試料サイズ：最大20mm角
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
ワイヤーボンダー [7476D #1]
- メーカー名
- West·Bond
- 型番
- Model 7476D
- 仕様
- ・ボンディング方式：超音波ウエッジ・ウエッジ技法
・ワイヤ：0.007～0.002インチ径のアルミ又は金ワイヤワークピースの加熱が可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
ワイヤーボンダー [7476D #2]
- メーカー名
- ハイソル(株)(West·Bond)
- 型番
- 7476D
- 仕様
- ・ボンディング方式：超音波/超音波熱圧着ウェッジボンド方式
・ボンディングウェッジ 45度、90度
・ワイヤー材質 金線、アルミ線
・ワークホルダー温度 300度以下
・試料サイズ 最大50mm角基板，DIPパッケージ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
エリプソメーター [MARY-102FM]
- メーカー名
- ファイブラボ
- 型番
- MARY-102FM
- 仕様
- ・光源：632nm He-Neレーザー
・ビーム径：0.8mm
・入射角：50°，60°，70°
・試料サイズ：最大φ6インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
分光エリプソメーター [M2000]
- メーカー名
- J.A.Woollam
- 型番
- M-2000U
- 仕様
- ・波長範囲：250～1000 nm
・補償子：回転式
・入射角：自動制御、45～90°
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
- メーカー名
- フィルメトリクス株式会社
- 型番
- F54-XY-200-UV
- 仕様
- 【遠隔利用可】
光源：重水素ハロゲンランプ
波長：190-1100nm
測定膜厚範囲：5nm以下～30um
試料サイズ：最大φ8インチ
その他：自動マッピング、顕微式、遠隔利用可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
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