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並木クリーンルーム
- メーカー名
- ヤマト科学(株)、ミカサ（株）、オリンパス（株）
- 型番
- ー
- 仕様
- ・スピンコーター（500-8000rpm、プログラム可能）
・ホットプレート（室温～350℃）
・有機/無機ドラフトチャンバー
・金属顕微鏡（対物 x5～x100、明/暗視野、微分干渉像）
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
微細組織三次元マルチスケール解析装置
- メーカー名
- (株)日立ハイテクサイエンス
- 型番
- SMF-1000
- 仕様
- ・トリプルビーム（FIB-SEM-Arイオン）装置
・FIBは最高1nmピッチで制御可能
・加工と観察を繰り返すことで3D像再構築が可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク
- 型番
- Ethos NX5000
- 仕様
- 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5－30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1－30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム：加速電圧0.5－2kV、最大ビーム電流20nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置（JIB-4000）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JIB-4000
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：5nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置（JEM-9310FIB）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-9310FIB
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：8nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置（JEM-9320FIB）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-9320FIB
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：6nm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
デュアルビーム加工観察装置（NB5000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- NB5000
- 仕様
- ・FIB :Acc.Volt. 1～40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5～30 kV, resolution 1 nm@15kV
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業9,900円/時間
- 中小企業16,500円/時間
- 大企業33,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8000
- 仕様
- ・冷陰極電界放出形電子銃
・対物レンズ：セミインレンズ型
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.0 nm（加速電圧15 kV）、 2.0 nm（加速電圧1 kV）、 リターディングモード：1.4 nm（照射電圧1 kV）
・リターディングモード 照射電圧：100 V～2.0 kV（加速電圧：500 V～3.0 kV）
・倍率：20～2千倍（低倍率モード）、80～80万倍（高倍率モード）
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・透過電子信号（BF、擬似DF）検出
・EDS付属（Bluker FlatQUAD）
エネルギー分解能：129 eV以下
検出可能元素：B～U
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
走査型電子顕微鏡（JSM-7000F）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JSM-7000F
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：1.2nm@30kV
・分解能：3nm＠1kV
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
卓上電子顕微鏡
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- Miniscope TM3000
- 仕様
- ・倍率 15倍～30,000倍
・観察モード 通常モード、帯電軽減モード
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット
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