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デュアルビーム加工観察装置（NB5000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- NB5000
- 仕様
- ・FIB :Acc.Volt. 1～40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5～30 kV, resolution 1 nm@15kV
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8000
- 仕様
- ・冷陰極電界放出形電子銃
・対物レンズ：セミインレンズ型
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.0 nm（加速電圧15 kV）、 2.0 nm（加速電圧1 kV）、 リターディングモード：1.4 nm（照射電圧1 kV）
・リターディングモード 照射電圧：100 V～2.0 kV（加速電圧：500 V～3.0 kV）
・倍率：20～2千倍（低倍率モード）、80～80万倍（高倍率モード）
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・透過電子信号（BF、擬似DF）検出
・EDS付属（Bluker FlatQUAD）
エネルギー分解能：129 eV以下
検出可能元素：B～U
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JSM-6500F
- 仕様
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.5 nm（加速電圧15 kV）、 5.0 nm（加速電圧1 kV）
・倍率：10～50万倍
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属（JED-2300）
エネルギー分解能：133 eV以下
検出可能元素：B～U
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
走査電子顕微鏡（JSM-6510）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JSM-6510
- 仕様
- ・Wフィラメント電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子分解能：3.0 nm（加速電圧30 kV）、 8.0 nm (加速電圧3 kV）、 15.0 nm（加速電圧1 kV）
・倍率：5～30万倍
・最大試料サイズ：φ150 mm
・操作ナビ画面にナビゲーション表示
・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F）
- メーカー名
- 日本電子株式会社
- 型番
- JSM7001F
- 仕様
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.2 nm （加速電圧30 kV）、3.0 nm （加速電圧1 kV）
・倍率：10～1百万倍
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属（JED-2300）
エネルギー分解能：133 eV以下
検出可能元素：B～U
・EBSD：TSL OIM
DigiView 4.0、 Analysis 8.3
・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
卓上走査型電子顕微鏡（TM3000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- Miniscope TM3000
- 仕様
- ・倍率 15倍～30,000倍
・観察モード 通常モード、帯電軽減モード
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- TM3000
- 仕様
- ・反射電子観察
・最大倍率: 50000
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
卓上走査型電子顕微鏡（TM4000PlusII）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- TM4000PlusII
- 仕様
- ・倍率：10倍 ~10万倍
・加速電圧 : 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
・画像信号 : 反射電子, 二次電子
・真空モード：導電体（反射電子のみ）、標準、帯電軽減
・EDX：あり
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット
FE-SEM [S-4800]
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- S-4800
- 仕様
- ・電子銃 ZrO/W 電界放射型
・加速電圧 0.1-30kV
・2次電子像分解能 1.0nm （ノーマル：15kV） 1.4nm （リターディング：1.0kV）
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [S-4800]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所
- 型番
- S4800 / X-MAX 80
- 仕様
- ・加速電圧:0.5～30kV ,
・最大倍率:800k ,
・検出器:SE/BSE
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
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