自動現像装置 [AD-1200]
![自動現像装置 [AD-1200]](data/facility_item/1761617754_16.jpg)
| 装置ID | NF0283 |
|---|---|
| 装置名称 | 自動現像装置 [AD-1200] |
| メーカー名 | 滝沢産業 |
| 型番 | AD-1200 |
| 用途 | フォトレジストの自動現像 Automatic Photoresist Development |
| 仕様 | 【性能・仕様】 ・処理方法：スプレー式またはパドル式 ・使用薬液：TMAH2.38% ・基板ホルダー：真空吸着式 ・基板回転数：0～3000rpm ・処理時間：999sec/step（1sec単位） ・適応サイズ：20mm角～φ6インチウェハ 【特徴】 ・フォトレジストの現像を自動で行う装置 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟102室 |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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