HMDSベーク処理装置 [APPS-30]
![HMDSベーク処理装置 [APPS-30]](data/facility_item/1770017874_16.jpg)
| 装置ID | NF0285 |
|---|---|
| 装置名称 | HMDSベーク処理装置 [APPS-30] |
| メーカー名 | リソテックジャパン |
| 型番 | APPS-30 |
| 用途 | HMDS、疎水化、表面改質、プライマー、レジスト塗布 HMDS, Surface treatment, Resist coating |
| 仕様 | 【性能・仕様】 ・用途：HMDS処理 ・処理方法：バブリング方式 ・試料サイズ：最大φ8インチ 【特徴】 ・用途：HMDS処理 ・処理方法：バブリング方式 ・試料サイズ：最大φ8インチ |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟 1F |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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