NIMS微細加工ユニットでは、新たに導入した「蒸気二流体洗浄装置」に関するセミナーを開催します。

蒸気二流体洗浄は、薬液を使用せずに蒸気と純水のみで効果的な洗浄を行うことができる革新的な技術です。パーティクル除去だけでなく、レジスト剥離、反応生成物の除去、CMP後の洗浄、リフトオフ、親水化処理など、様々な用途で使用できます。

本セミナーでは、「蒸気二流体洗浄装置」の技術概要と活用事例について、専門家・メーカーを交えて紹介いたします。皆様のご参加をお待ちしております。

【日時】2025年10月20日(月)15:00-16:00
【場所】オンライン開催（Teamsウェビナー）
【参加費】無料
【参加者】どなたでも参加可能
【お申込み】こちらから事前参加登録をお願いいたします

【プログラム】