共用設備

共用設備一覧

加工・作製 Processing /Manufacturing

微細加工 Microfabrication

装置名 メーカー名 型番
電子銃型蒸着装置 [ADS-E810] アールデック ADS-E810
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4] 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
分光エリプソメーター [UNECS-2000A] (株)アルバック UNECS-2000A
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1] 住友精密工業(株) Spica
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2] 住友精密工業(株) Spica
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 日本電子(株) JBX-8100FS
電子ビーム描画装置 [ELS-F125] (株)エリオニクス ELS-F125
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] (株)エリオニクス ELS-BODEN
レーザー描画装置 [DWL66+] ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) DWL66+
マスクレス露光装置 [DL-1000] (株)ナノシステムソリューションズ DL-1000
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] (株)ナノシステムソリューションズ DL-1000 / NC2P
マスクレス露光装置 [MLA150] ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) MLA150
マスクアライナー [MA-6] ズース・マイクロテック MA-6
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] サムコ(株) AQ-500
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2] サムコ(株) AQ-500
UVオゾンクリーナー [UV-1] サムコ(株) UV-1
スパッタ装置 [JSP-8000] (株)アルバック J sputter
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2] 芝浦メカトロニクス(株) CFS-4EP-LL
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] 芝浦メカトロニクス(株) CFS-4EP-LL
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] (株)アールデック RDEB-1206K
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] (株)アールデック ADS-E86
電子銃型蒸着装置 [MB-501010] (株)エイコーエンジニアリング MB-501010
原子層堆積装置 [SUNALE R-150] アルテック(株)/Picosun SUNALE R-150 ALD
原子層堆積装置 [AD-230LP] サムコ(株) AD-230LP
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] サムコ(株) PD-220NL
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL] サムコ(株) PD-220NL
リフトオフ装置 [KLO-150CBU] (株)カナメックス KLO-150CBU
CCP-RIE装置 [RIE-200NL] サムコ(株) RIE-200NL
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] サムコ(株) RIE-101iPH
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] 住友精密工業(株) MUC-21 RV-APS-SE
ICP-RIE装置 [CE300I] (株)アルバック CE300I
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] 住友精密工業(株) MUC-21 ASE-SRE
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE] オックスフォード・インストゥルメンツ(株) PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1] アドバンス理工(株) RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2] アドバンス理工(株) RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3] アドバンス理工(株) RTP-6
ダイシングソー [DAD322] (株)ディスコ DAD322
ダイシングソー [DAD3220] (株)ディスコ DAD3220

塑性加工 Plastic Working

装置名 メーカー名 型番
鍛造設備（油圧プレス） 川崎油工(株) HFP2-300
70ton大型スウェージングマシーン (株)日本クロス圧延 15HP-DH4
18ton小型スウェージングマシーン (株)日本クロス圧延 USD-6000
熱間2段ロール圧延機 大野ロール(株) HOT-12
溝ロール圧延機 大野ロール(株) 2RMG-400S
冷間4段ロール圧延機 (株)日本クロス圧延 120DX270W-300DX250W
歪み速度制御圧延機 大野ロール(株) 2RM-400S
鍛圧用加熱炉（max.1250℃） 日新化熱工業(株) ー
鍛圧用移動式加熱炉（max.1200℃） 日新化熱工業(株) EBS-1(S)
溝圧用加熱炉（max1250℃） 光洋サーモシステム(株) SB-20232
熱処理炉（max1400℃） 日新化熱工業(株) EBS-10(S)
焼鈍用熱処理炉（max.850℃） 日新化熱工業(株) EB-5S
1500t鍛造シミュレータ 住友重機械工業(株)、他３社 ー
25t加工熱処理シミュレータ 富士電波工機(株) Thermecmaster Z

素材作製 Metal working

装置名 メーカー名  
水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備 富士電機(株)、NIMS -
5kg高周波誘導真空溶解設備 日新技研(株) NEV-M5V
30キログラム高周波誘導真空溶解設備 日新技研(株) NEV-M30
加圧式エレクトロスラグ再溶解設備 日本特殊機械(株) 型番なし
金属箔圧延機 (有)トップラントエンジ ー
マルチ冷却式真空熱処理炉 佐藤真空(株) ー
ワイヤ放電加工機 ファナック(株) α-C400iA
リサイクル分取GPC 日本分析工業(株) LC-9201
グローブボックス MBRAWN Uni Lab
生体分子分離装置群(超遠心機) ベックマン・コールター(株) Optima-LE80K
材料調製装置群(スプレードライヤー) Buchi B-290
材料調製装置群(電気炉) (株)アドバンテック FUH632DA
材料調製装置群(プラズマクリーナー) ヤマト科学(株) PDC200
材料調製装置群(凍結乾燥機) 東京理化器械(株) FDU-2110
機械工作室 工作機械群 ー ー
試料作製室装置群 ー ー
硝子工作室装置群 ー ー
材料創製共通設備群 ー ー

 

観察・評価 Observation/Evaluation

電子顕微鏡 Electron microscope

微細組織三次元マルチスケール解析装置（SMF-1000） (株)日立ハイテクサイエンス SMF-1000
TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置（Scios 2） サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) ThermoFisher Scios2
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置(Ethos NX5000) (株)日立ハイテク Ethos NX5000
FIB加工装置(JIB-4000) 日本電子(株) JIB-4000
FIB加工装置(JEM-9310FIB) 日本電子(株) JEM-9310FIB
FIB加工装置(JEM-9320FIB) 日本電子(株) JEM-9320FIB
FIB/SEM精密微細加工装置（Helios 650） 日本エフイー・アイ(株) Helios 650
デュアルビーム加工観察装置(NB5000) (株)日立ハイテクノロジーズ NB5000
清浄表面組織観察FIB-SEM装置（Auriga Laser） カールツァイス(株) ZEISS AurigaLaser
電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000） (株)日立ハイテクノロジーズ SU8000
電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F） 日本電子(株) JSM-6500F
走査電子顕微鏡（JSM-6510） 日本電子(株) JSM-6510
走査電子顕微鏡(JSM-7000F) 日本電子(株) JSM-7000F
走査型電子顕微鏡(JSM-7900F) 日本電子(株) JEOL JSM-7900F
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F） 日本電子(株) JSM7001F
卓上電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ Miniscope TM3000
卓上電子顕微鏡 [TM3000] (株)日立ハイテクノロジーズ TM3000
卓上電子顕微鏡(TM4000PlusII) (株)日立ハイテク TM4000PlusII
FE-SEM [S-4800] (株)日立ハイテクノロジーズ S-4800
FE-SEM+EDX [S-4800] (株)日立ハイテク / (株)堀場製作所 S4800 / X-MAX 80
FE-SEM+EDX [SU8000] (株)日立ハイテク / Bruker SU8000 / Quantax FQ5060
FE-SEM+EDX [SU8230] (株)日立ハイテクノロジーズ SU8230
200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F1) 日本電子(株) JEM-2100F1
200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F2) 日本電子(株) JEM-2100F2
200kV透過電子顕微鏡(JEM-2100) 日本電子(株) JEM-2100
局所変形観察・解析電子顕微鏡（JEM-2800） 日本電子(株) JEOL　JEM-2800
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー DENSsolutions Lightning
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー Gatan, Inc. Gatan 636
実動環境対応物理分析電子顕微鏡(JEM-ARM200F-G) 日本電子(株) JEM-ARM200F-G
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡(JEM-ARM200F-B) 日本電子(株) JEM-ARM200F-B
ウルトラミクロトーム(Leica EM UC6) ライカマイクロシステムズ(株) EM UC6
断面試料作製装置（SM-09020CP） 日本電子(株) SM-09020CP
ハイブリッドコーター（Q150R ES） クォーラムテクノロジーズ Q150RES
オスミウムコーター 日本レーザー電子(株) NL-OPC80A
オスミウムコーター 株式会社真空デバイス HPC-1SW
カーボンコーター 日本電子(株) JEC-560
金コーター 日本電子(株) JFC-1500
白金コーター 日本電子(株) JFC-1600
マルチコーター (株)真空デバイス VES-30T
HRTEM解析システム ー ー
DPC解析システム (有)HREM qDPC 64bit
電子線トモグラフィー解析システム ー ー
精密コーティングシステム Gatan, Inc. Model 682
精密イオン研磨装置(PIPS)　 Gatan, Inc. Model 691
精密イオン研磨装置(PIPS II) Gatan, Inc. Model 695
精密イオン研磨装置 Gatan, Inc. 695PIPS II
イオンスライサー 日本電子(株) EM-09100IS
ターボ式真空蒸着装置 サンユー電子(株) SVC-700
卓上SEM (株)日立ハイテク TM4000PlusII
超音波ディスクカッター Gatan, Inc. Model 601
自動精密切断機（ISOMET) BEUHLER Ltd. -
楔形研磨装置 Allied High Tech Products, Inc. -
小型精密切断器 Technoorg Linda Co. Ltd. MS2 MICROSAW
卓上研磨機 (株)マルトー ML-180 DoctorLap
ディンプルグラインダー Gatan, Inc. 656 DimpleGrinder
ディンプルグラインダー Gatan, Inc. 656 DimpleGrinder
ピックアップシステム ー ピックアップシステム
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置(Model 1040 Nanomill) フィッシオーネ Model 1040 Nanomill
TEM試料作製補助装置群 ー ー
親水化処理装置 日本電子株式会社 DII-29020HD

プローブ顕微鏡 Probe microscope

装置名 メーカー名 型番
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] オックスフォード・インストゥルメンツ(株) Jupiter XR
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] SII ナノテクノロジー(株)   L-Trace
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] ブルカージャパン(株) Nanoscope 5
液中原子間力顕微鏡 ブルカージャパン(株) NanoWizard 4 XP

光学顕微鏡 ・評価 Optical Microscope/ Optical evaluation

装置名 メーカー名 型番
多角度光散乱検出器 ワイアット・テクノロジー DAWN HELEOS
フーリエ変換赤外分光光度計 (株)島津製作所 IRTracer-100
フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S） (株)島津製作所 IRAffinity-1S/AIM-9000
円二色性分散計 日本分光(株) J-725
プレートリーダー (株)パーキンエルマージャパン EnSight
ラマン顕微鏡 レニショー(株) inVia Reflex
レーザーマイクロダイセクションシステム ライカマイクロシステムズ(株) LMD7000
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] オリンパス(株) LEXT OLS4000
レーザー顕微鏡 [VK-9700] (株)キーエンス VK9-9700G
共焦点顕微鏡SP5 ライカマイクロシステムズ(株) SP5
デジタル顕微鏡（RH-8800） ハイロックス RH-8800
分子材料分光分析装置群(分光光度計) (株)日立ハイテクノロジーズ U-2900
分子材料分光分析装置群(蛍光分光光度計) (株)日立ハイテクノロジーズ F-7000

形状評価 Profile evaluation

装置名 メーカー名 型番
触針式プロファイラー [Dektak XT-A] ブルカージャパン(株) Dektak XT-A
触針式プロファイラー [Dektak 6M] ブルカージャパン(株) DekTak 6M
高精度三次元座標測定機 (株)ミツトヨ CRYSTA-Apex S9106

 

分析・計測 Analysis/Measurement

強磁場計測 High Magnetic Field Measurement

装置名 メーカー名 型番
NMR 日本電子(株) ECS-400
500MHz固体汎用NMRシステム 日本電子(株) ECA500
500MHz固体高分解能NMRシステム 日本電子(株) ECA500
800MHzナローボア固体高分解能NMRシステム 日本電子(株) ECA800
大口径超伝導マグネット (株)東芝、NIMS －
18T汎用超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) JSD-18T52
試料振動型磁化測定装置(VSM) オックスフォード・インストゥルメンツ(株) Maglab VSM system
冷凍機伝導冷却型12T超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) JMTD-12T100
大口径17Tマグネット ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) F015
強磁場光学測定システム クライオジェニック －

X線回折 X-ray diffraction

装置名 メーカー名 型番
2波長Pilatus低温単結晶X線回折装置_NSC (株)リガク VariMax DW with Saturn
温度可変型粉末X線回折装置_Cu1_NTS (株)リガク SmartLab (9 kW) with cryostat/furnace
多目的X線回折装置_Cu_SSL (株)リガク SmartLab (9 kW)
高速・高感度型粉末X線回折装置_Cu_ASC_NS3 (株)リガク SmartLab3
多環境場対応型X線単結晶構造解析装置 (株)リガク XtaLAB SynergyCustom DW
卓上型X線回折計_Cu_SMF (株)リガク MiniFlex600
卓上型粉末回折計_Cr_SCR (株)リガク MiniFlex600-Cr
卓上型粉末回折計_Cu_ASC_NC1 (株)リガク MiniFlex600-Cu
卓上型粉末回折計_Cu_ASC_NC2 (株)リガク MiniFlex600-Cu_N2
薄膜X線回折装置_Cu (株)リガク SmartLab

元素分析 Elemental analysis

装置名 メーカー名 型番

誘導結合プラズマ発光分光分析装置（マルチ型・デュアルビュー、Agilent5800、千現）

 アジレント・テクノロジー株式会社 Agilent5800
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置（JXA-8500F） 日本電子(株) JXA-8500F
誘導結合プラズマ発光分析装置(マルチ型)（720 ICP-OES） アジレント・テクノロジー(株) 720 ICP-OES
誘導結合プラズマ発光分析装置(高分解能型) (SPS3520UV-DD) (株)日立ハイテクサイエンス SPS3520UV-DD
誘導結合プラズマ発光分光分析装置(マルチ型・デュアルビュー） アジレント・テクノロジー(株) Agilent5800
微小部蛍光X線分析装置（ORBIS PC） アメテック(株) ORBIS PC
走査型オージェ電子分光分析装置 (JAMP-9500F) 日本電子(株) JAMP-9500F
硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS） アルバック・ファイ(株) Quantes
X線光電子分光分析装置（XPS-Quantera SXM） アルバック・ファイ(株) Quantera SXM
酸素窒素水素分析装置(ONH836)、炭素硫黄分析装置(CS844) LECOジャパン(同） ONH836、
CS844
イオンクロマトグラフシステム サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) ICS1600

質量分析 Mass Spectrometry

装置名 メーカー名 型番
二重収束型ICP質量分析装置(ELEMENT XR) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) ELEMENT XR
飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ(株) PHI TRIFT V nanoTOF
マルチガス導入グロー放電質量分析システム(VG9000) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) VG9000
四重極型ICP質量分析装置 アジレント・テクノロジー(株) Agilent7850
LC/MS/MS AMR, Inc. Zaplous
LC/MS/MS（Q-exactive） サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) Q-Exactive Plus

電気計測 Electric measurement

装置名 メーカー名 型番
室温プローバー [MX-200/B] ベクターセミコン(株), アジレント・テクノロジー(株) MX-200/B, B1500A
室温プローバー [HMP-400] アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株) B1500A
低温プローバー [GRAIL-408-32-B] Keithley Instruments, Inc.、ナガセテクノエンジニアリング(株) 4200 SCS, Grail-408-32-B
液体窒素プローバー [SB-LN2] サーマルブロック
ケースレーインスツルメンツ		 SB-LN2PS, 4200-SCS
ワイヤーボンダー [7476D #1] West·Bond Model 7476D
ワイヤーボンダー [7476D #2] ハイソル(株)(West·Bond) 7476D

物性評価 Physical properties evaluation

装置名 メーカー名 型番
強磁場低温物性自動遠隔測定システム 日本カンタム・デザイン株式会社 物理特性測定システム PPMS16T
エリプソメーター [MARY-102FM] ファイブラボ(株) MARY-102FM
分光エリプソメーター [M2000] J.A.Woollam Co. M-2000U
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] フィルメトリクス(株) F54-XY-200-UV
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] 東朋テクノロジー(株) FLA-2000-A
熱分析装置(TG/DTA＋DSC) (株)日立ハイテクサイエンス TG/DTA 6200, X-DSC7000
ゼータ電位＆粒径測定装置（ELSZ-2000ZS） 大塚電子(株) ELSZ-2000ZS
紫外可視近赤外分光計（V-770） 日本分光(株) V-770
分光蛍光光度計（FP-8500DS） 日本分光(株) FP-8500DS
分光蛍光光度計 （Fluorolog-3） (株)堀場製作所 Fluorolog-3
中低温示差熱分析装置（DSC200F3） ネッチ(株) DSC200F
高分子相構造解析システム（PP-1000） 大塚電子(株) PP-1000
フーリエ変換赤外分光計（FT/IR-6700） 日本分光(株) FT/IR-6700
分子材料分離分析装置群(GPC-1) (株)島津製作所 Nexera 40
分子材料分離分析装置群(GPC-2) 昭和電工(株) Shodex GPC-101
材料分析装置群(接触角測定装置) AST products, Inc. VCA Optima XE
材料分析装置群(強度物性測定器) 英弘精機(株) TA-XT2i
ナノ材料分析装置群(パーティクルサイズアナライザー) (株)島津製作所 SALD-2100
ナノ材料分析装置群(動的光散乱計) 大塚電子(株) DLS-8000HAL
ナノ材料分析装置群(レーザーゼータ電位計) 大塚電子(株) ELSZ-1000Z

バイオ Biological analysis

装置名 メーカー名 型番
液体クロマトグラフ質量分析計(LC-MS) サーモフィッシャーサイエンティフィック Orbitrap Exploris 480
リアルタイムPCR ロシュ・ダイアグノスティックス(株) LightCycler 480 System II
マイクロアレイスキャナー アジレント・テクノロジー(株) SureScan G4900DA
細胞分離分析システム ソニー(株) Cell sorter SH800 / Cell analyzer SP6800
CO2インキュベーター 三洋電機(株) MCO-40AIC
クリーンベンチ ヤマト科学(株) ADS131RMUGZ
表面プラズモン解析装置 GEヘルスケア・ジャパン(株) Biacore-X100
安全キャビネット 三洋電機(株) MH131AJ

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