スクール・イベント

No.13 薄膜形成プロセス(蒸着/スパッタ成膜)

プログラム概要

サンプル画像1

アールデック, RDEB-1206K

サンプル画像2

カナメックス, KLO-150CBU

 

対象

初級者

講習形式

座学と実習

開催日

(上期)2019年8月7日(水)
(下期)2019年12月4日(水)

時間

10:00~17:00

定員

2名

開催場所

千現地区

内容

蒸着/スパッタ成膜による薄膜形成プロセスの概要から、リフトオフプロセスによるラインパターン形成に関する講義及び実習を行います。蒸着/スパッタ成膜装置未経験の方におすすめのプログラムです。

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