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共用設備

エリプソメーター [MARY-102FM]

装置ID	NF0027
装置名称	エリプソメーター [MARY-102FM]
メーカー名	ファイブラボ
型番	MARY-102FM
用途	・絶縁膜評価
仕様	・光源：632nm He-Neレーザー ・ビーム径：0.8mm ・入射角：50°，60°，70° ・試料サイズ：最大φ6インチ

利用時間単位	時間（1h）
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区 材料信頼性実験棟1F

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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