共用設備一覧
加工・作製 Processing /Manufacturing
微細加工 Microfabrication
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 電子銃型蒸着装置 [ADS-E810] | アールデック | ADS-E810 |
| スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4] | 芝浦メカトロニクス | CFS-4EP-LL |
| 分光エリプソメーター [UNECS-2000A] | (株)アルバック | UNECS-2000A |
| 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1] | 住友精密工業(株) | Spica |
| 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2] | 住友精密工業(株) | Spica |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] | 日本電子(株) | JBX-8100FS |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | (株)エリオニクス | ELS-F125 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | (株)エリオニクス | ELS-BODEN |
| レーザー描画装置 [DWL66+] | ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) | DWL66+ |
| マスクレス露光装置 [DL-1000] | (株)ナノシステムソリューションズ | DL-1000 |
| マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | (株)ナノシステムソリューションズ | DL-1000 / NC2P |
| マスクレス露光装置 [MLA150] | ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) | MLA150 |
| マスクアライナー [MA-6] | ズース・マイクロテック | MA-6 |
| 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] | サムコ(株) | AQ-500 |
| 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2] | サムコ(株) | AQ-500 |
| UVオゾンクリーナー [UV-1] | サムコ(株) | UV-1 |
| スパッタ装置 [JSP-8000] | (株)アルバック | J sputter |
| スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2] | 芝浦メカトロニクス(株) | CFS-4EP-LL |
| スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 芝浦メカトロニクス(株) | CFS-4EP-LL |
| 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] | (株)アールデック | RDEB-1206K |
| 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] | (株)アールデック | ADS-E86 |
| 電子銃型蒸着装置 [MB-501010] | (株)エイコーエンジニアリング | MB-501010 |
| 原子層堆積装置 [SUNALE R-150] | アルテック(株)/Picosun | SUNALE R-150 ALD |
| 原子層堆積装置 [AD-230LP] | サムコ(株) | AD-230LP |
| SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] | サムコ(株) | PD-220NL |
| SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL] | サムコ(株) | PD-220NL |
| リフトオフ装置 [KLO-150CBU] | (株)カナメックス | KLO-150CBU |
| CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | サムコ(株) | RIE-200NL |
| ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] | サムコ(株) | RIE-101iPH |
| ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] | 住友精密工業(株) | MUC-21 RV-APS-SE |
| ICP-RIE装置 [CE300I] | (株)アルバック | CE300I |
| シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] | 住友精密工業(株) | MUC-21 ASE-SRE |
| 原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE] | オックスフォード・インストゥルメンツ(株) | PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE |
| 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1] | アドバンス理工(株) | RTP-6 |
| 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2] | アドバンス理工(株) | RTP-6 |
| 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3] | アドバンス理工(株) | RTP-6 |
| ダイシングソー [DAD322] | (株)ディスコ | DAD322 |
| ダイシングソー [DAD3220] | (株)ディスコ | DAD3220 |
塑性加工 Plastic Working
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 鍛造設備（油圧プレス） | 川崎油工(株) | HFP2-300 |
| 70ton大型スウェージングマシーン | (株)日本クロス圧延 | 15HP-DH4 |
| 18ton小型スウェージングマシーン | (株)日本クロス圧延 | USD-6000 |
| 熱間2段ロール圧延機 | 大野ロール(株) | HOT-12 |
| 溝ロール圧延機 | 大野ロール(株) | 2RMG-400S |
| 冷間4段ロール圧延機 | (株)日本クロス圧延 | 120DX270W-300DX250W |
| 歪み速度制御圧延機 | 大野ロール(株) | 2RM-400S |
| 鍛圧用加熱炉（max.1250℃） | 日新化熱工業(株) | ー |
| 鍛圧用移動式加熱炉（max.1200℃） | 日新化熱工業(株) | EBS-1(S) |
| 溝圧用加熱炉（max1250℃） | 光洋サーモシステム(株) | SB-20232 |
| 熱処理炉（max1400℃） | 日新化熱工業(株) | EBS-10(S) |
| 焼鈍用熱処理炉（max.850℃） | 日新化熱工業(株) | EB-5S |
| 1500t鍛造シミュレータ | 住友重機械工業(株)、他３社 | ー |
| 25t加工熱処理シミュレータ | 富士電波工機(株) | Thermecmaster Z |
素材作製 Metal working
| 装置名 | メーカー名 | |
| 水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備 | 富士電機(株)、NIMS | - |
| 5kg高周波誘導真空溶解設備 | 日新技研(株) | NEV-M5V |
| 30キログラム高周波誘導真空溶解設備 | 日新技研(株) | NEV-M30 |
| 加圧式エレクトロスラグ再溶解設備 | 日本特殊機械(株) | 型番なし |
| 金属箔圧延機 | (有)トップラントエンジ | ー |
| マルチ冷却式真空熱処理炉 | 佐藤真空(株) | ー |
| 電子ビーム溶接機 | 三菱電機(株) | EBW-35HB |
| ワイヤ放電加工機 | ファナック(株) | α-C400iA |
| リサイクル分取GPC | 日本分析工業(株) | LC-9201 |
| グローブボックス | MBRAWN | Uni Lab |
| 生体分子分離装置群(超遠心機) | ベックマン・コールター(株) | Optima-LE80K |
| 材料調製装置群(スプレードライヤー) | Buchi | B-290 |
| 材料調製装置群(電気炉) | (株)アドバンテック | FUH632DA |
| 材料調製装置群(プラズマクリーナー) | ヤマト科学(株) | PDC200 |
| 材料調製装置群(凍結乾燥機) | 東京理化器械(株) | FDU-2110 |
| 機械工作室 工作機械群 | ー | ー |
| 試料作製室装置群 | ー | ー |
| 硝子工作室装置群 | ー | ー |
| 材料創製共通設備群 | ー | ー |
観察・評価 Observation/Evaluation
電子顕微鏡 Electron microscope
| 微細組織三次元マルチスケール解析装置 | (株)日立ハイテクサイエンス | SMF-1000 |
| TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置 | サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) | ThermoFisher Scios2 |
| TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置 | (株)日立ハイテク | Ethos NX5000 |
| FIB加工装置(JIB-4000) | 日本電子(株) | JIB-4000 |
| FIB加工装置(JEM-9310FIB) | 日本電子(株) | JEM-9310FIB |
| FIB加工装置(JEM-9320FIB) | 日本電子(株) | JEM-9320FIB |
| FIB/SEM精密微細加工装置 | 日本エフイー・アイ(株) | Helios 650 |
| デュアルビーム加工観察装置(NB5000) | (株)日立ハイテクノロジーズ | NB5000 |
| 清浄表面組織観察FIB-SEM装置 | カールツァイス(株) | ZEISS AurigaLaser |
| 電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000） | (株)日立ハイテクノロジーズ | SU8000 |
| 電界放出形走査電子顕微鏡（S-5500） | (株)日立ハイテクノロジーズ | S-5500 |
| 電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F） | 日本電子(株) | JSM-6500F |
| 走査電子顕微鏡（JSM-6510） | 日本電子(株) | JSM-6510 |
| 走査電子顕微鏡(JSM-7000F) | 日本電子(株) | JSM-7000F |
| 走査型電子顕微鏡 | 日本電子(株) | JEOL JSM-7900F |
| ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F） | 日本電子(株) | JSM7001F |
| 卓上電子顕微鏡 | (株)日立ハイテクノロジーズ | Miniscope TM3000 |
| 卓上電子顕微鏡 [TM3000] | (株)日立ハイテクノロジーズ | TM3000 |
| 卓上電子顕微鏡(TM4000PlusII) | (株)日立ハイテク | TM4000PlusII |
| FE-SEM [S-4800] | (株)日立ハイテクノロジーズ | S-4800 |
| FE-SEM+EDX [S-4800] | (株)日立ハイテク / (株)堀場製作所 | S4800 / X-MAX 80 |
| FE-SEM+EDX [SU8000] | (株)日立ハイテク / Bruker | SU8000 / Quantax FQ5060 |
| FE-SEM+EDX [SU8230] | (株)日立ハイテクノロジーズ | SU8230 |
| 200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F1) | 日本電子(株) | JEM-2100F1 |
| 200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F2) | 日本電子(株) | JEM-2100F2 |
| 200kV透過電子顕微鏡(JEM-2100) | 日本電子(株) | JEM-2100 |
| 局所変形観察・解析電子顕微鏡（透過型電子顕微鏡） | 日本電子(株) | JEOL JEM-2800 |
| 2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー | DENSsolutions | Lightning |
| 2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー | Gatan, Inc. | Gatan 636 |
| 実動環境対応物理分析電子顕微鏡(JEM-ARM200F-G) | 日本電子(株) | JEM-ARM200F-G |
| 実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡(JEM-ARM200F-B) | 日本電子(株) | JEM-ARM200F-B |
| ウルトラミクロトーム(Leica EM UC6) | ライカマイクロシステムズ(株) | EM UC6 |
| 断面試料作製装置（SM-09020CP） | 日本電子(株) | SM-09020CP |
| ハイブリッドコーター（Q150R ES） | クォーラムテクノロジーズ | Q150RES |
| オスミウムコーター | 日本レーザー電子(株) | NL-OPC80A |
| オスミウムコーター | 株式会社真空デバイス | HPC-1SW |
| カーボンコーター | 日本電子(株) | JEC-560 |
| 金コーター | 日本電子(株) | JFC-1500 |
| 白金コーター | 日本電子(株) | JFC-1600 |
| マルチコーター | (株)真空デバイス | VES-30T |
| HRTEM解析システム | ー | ー |
| DPC解析システム | (有)HREM | qDPC 64bit |
| 電子線トモグラフィー解析システム | ー | ー |
| 精密コーティングシステム | Gatan, Inc. | Model 682 |
| 精密イオン研磨装置(PIPS) | Gatan, Inc. | Model 691 |
| 精密イオン研磨装置(PIPS II) | Gatan, Inc. | Model 695 |
| 精密イオン研磨装置 | Gatan, Inc. | 695PIPS II |
| イオンスライサー | 日本電子(株) | EM-09100IS |
| ターボ式真空蒸着装置 | サンユー電子(株) | SVC-700 |
| 卓上SEM | (株)日立ハイテク | TM4000PlusII |
| 超音波ディスクカッター | Gatan, Inc. | Model 601 |
| 自動精密切断機（ISOMET) | BEUHLER Ltd. | - |
| 楔形研磨装置 | Allied High Tech Products, Inc. | - |
| 小型精密切断器 | Technoorg Linda Co. Ltd. | MS2 MICROSAW |
| 卓上研磨機 | (株)マルトー | ML-180 DoctorLap |
| ディンプルグラインダー | Gatan, Inc. | 656 DimpleGrinder |
| ディンプルグラインダー | Gatan, Inc. | 656 DimpleGrinder |
| ピックアップシステム | ー | ピックアップシステム |
| 無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 | フィッシオーネ | Model 1040 Nanomill |
| TEM試料作製補助装置群 | ー | ー |
| 親水化処理装置 | 日本電子株式会社 | DII-29020HD |
プローブ顕微鏡 Probe microscope
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] | オックスフォード・インストゥルメンツ(株) | Jupiter XR |
| 走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] | SII ナノテクノロジー(株) | L-Trace |
| 走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] | ブルカージャパン(株) | Nanoscope 5 |
| 液中原子間力顕微鏡 | ブルカージャパン(株) | NanoWizard 4 XP |
光学顕微鏡 ・評価 Optical Microscope/ Optical evaluation
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 多角度光散乱検出器 | ワイアット・テクノロジー | DAWN HELEOS |
| フーリエ変換赤外分光光度計 | (株)島津製作所 | IRTracer-100 |
| フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S） | (株)島津製作所 | IRAffinity-1S/AIM-9000 |
| 円二色性分散計 | 日本分光(株) | J-725 |
| プレートリーダー | (株)パーキンエルマージャパン | EnSight |
| ラマン顕微鏡 | レニショー(株) | inVia Reflex |
| レーザーマイクロダイセクションシステム | ライカマイクロシステムズ(株) | LMD7000 |
| レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] | オリンパス(株) | LEXT OLS4000 |
| レーザー顕微鏡 [VK-9700] | (株)キーエンス | VK9-9700G |
| 共焦点顕微鏡SP5 | ライカマイクロシステムズ(株) | SP5 |
| デジタル顕微鏡（RH-8800） | ハイロックス | RH-8800 |
| 分子材料分光分析装置群(分光光度計) | (株)日立ハイテクノロジーズ | U-2900 |
| 分子材料分光分析装置群(蛍光分光光度計) | (株)日立ハイテクノロジーズ | F-7000 |
形状評価 Profile evaluation
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 触針式プロファイラー [Dektak XT-A] | ブルカージャパン(株) | Dektak XT-A |
| 触針式プロファイラー [Dektak 6M] | ブルカージャパン(株) | DekTak 6M |
| 高精度三次元座標測定機 | (株)ミツトヨ | CRYSTA-Apex S9106 |
分析・計測 Analysis/Measurement
強磁場計測 High Magnetic Field Measurement
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| NMR | 日本電子(株) | ECS-400 |
| 500MHz固体汎用NMRシステム | 日本電子(株) | ECA500 |
| 500MHz固体高分解能NMRシステム | 日本電子(株) | ECA500 |
| 800MHzナローボア固体高分解能NMRシステム | 日本電子(株) | ECA800 |
| 800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム | 日本電子(株) | ECZ800 |
| 大口径超伝導マグネット | (株)東芝、NIMS | － |
| 18T汎用超伝導マグネット装置 | ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) | JSD-18T52 |
| 試料振動型磁化測定装置(VSM) | オックスフォード・インストゥルメンツ(株) | Maglab VSM system |
| 冷凍機伝導冷却型12T超伝導マグネット装置 | ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) | JMTD-12T100 |
| 大口径17Tマグネット | ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) | F015 |
| 強磁場光学測定システム | クライオジェニック | － |
X線回折 X-ray diffraction
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 2波長Pilatus低温単結晶X線回折装置_NSC | (株)リガク | VariMax DW with Saturn |
| 温度可変型粉末X線回折装置_Cu1_NTS | (株)リガク | SmartLab (9 kW) with cryostat/furnace |
| 多目的X線回折装置_Cu_SSL | (株)リガク | SmartLab (9 kW) |
| 高速・高感度型粉末X線回折装置_Cu_ASC_NS3 | (株)リガク | SmartLab3 |
| 多環境場対応型X線単結晶構造解析装置 | (株)リガク | XtaLAB SynergyCustom DW |
| 卓上型X線回折計_Cu_SMF | (株)リガク | MiniFlex600 |
| 卓上型粉末回折計_Cr_SCR | (株)リガク | MiniFlex600-Cr |
| 卓上型粉末回折計_Cu_ASC_NC1 | (株)リガク | MiniFlex600-Cu |
| 卓上型粉末回折計_Cu_ASC_NC2 | (株)リガク | MiniFlex600-Cu_N2 |
| XRD（粉末） | (株)リガク | RINT-Ultima III |
| 薄膜X線回折装置_Cu | (株)リガク | SmartLab |
元素分析 Elemental analysis
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置（JXA-8500F） | 日本電子(株) | JXA-8500F |
| 誘導結合プラズマ発光分析装置(マルチ型)（720 ICP-OES） | アジレント・テクノロジー(株) | 720 ICP-OES |
| 誘導結合プラズマ発光分析装置(高分解能型) (SPS3520UV-DD) | (株)日立ハイテクサイエンス | SPS3520UV-DD |
| 誘導結合プラズマ発光分光分析装置(マルチ型・デュアルビュー） | アジレント・テクノロジー(株) | Agilent5800 |
| 微小部蛍光X線分析装置（ORBIS PC） | アメテック(株) | ORBIS PC |
| 走査型オージェ電子分光分析装置 (JAMP-9500F) | 日本電子(株) | JAMP-9500F |
| 硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS） | アルバック・ファイ(株) | Quantes |
| X線光電子分光分析装置（XPS-Quantera SXM） | アルバック・ファイ(株) | Quantera SXM |
| 酸素窒素水素分析装置(ONH836)、炭素硫黄分析装置(CS844) | LECOジャパン(同） | ONH836、 CS844 |
| イオンクロマトグラフシステム | サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) | ICS1600 |
質量分析 Mass Spectrometry
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 二重収束型ICP質量分析装置(ELEMENT XR) | サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) | ELEMENT XR |
| 飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) | アルバック・ファイ(株) | PHI TRIFT V nanoTOF |
| マルチガス導入グロー放電質量分析システム(VG9000) | サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) | VG9000 |
| 四重極型ICP質量分析装置 | アジレント・テクノロジー(株) | Agilent7850 |
| LC/MS/MS | AMR, Inc. | Zaplous |
| LC/MS/MS（Q-exactive） | サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) | Q-Exactive Plus |
電気計測 Electric measurement
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 室温プローバー [MX-200/B] | ベクターセミコン(株), アジレント・テクノロジー(株) | MX-200/B, B1500A |
| 室温プローバー [HMP-400] | アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株) | B1500A |
| 低温プローバー [GRAIL-408-32-B] | Keithley Instruments, Inc.、ナガセテクノエンジニアリング(株) | 4200 SCS, Grail-408-32-B |
| 液体窒素プローバー [SB-LN2] | サーマルブロック ケースレーインスツルメンツ |
SB-LN2PS, 4200-SCS |
| ワイヤーボンダー [7476D #1] | West·Bond | Model 7476D |
| ワイヤーボンダー [7476D #2] | ハイソル(株)(West·Bond) | 7476D |
物性評価 Physical properties evaluation
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| エリプソメーター [MARY-102FM] | ファイブラボ(株) | MARY-102FM |
| 分光エリプソメーター [M2000] | J.A.Woollam Co. | M-2000U |
| 顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] | フィルメトリクス(株) | F54-XY-200-UV |
| 薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] | 東朋テクノロジー(株) | FLA-2000-A |
| 熱分析装置(TG/DTA＋DSC) | (株)日立ハイテクサイエンス | TG/DTA 6200, X-DSC7000 |
| ゼータ電位＆粒径測定装置（ELSZ-2000ZS） | 大塚電子(株) | ELSZ-2000ZS |
| 紫外可視近赤外分光計（V-770） | 日本分光(株) | V-770 |
| 分光蛍光光度計（FP-8500DS） | 日本分光(株) | FP-8500DS |
| 分光蛍光光度計 （Fluorolog-3） | (株)堀場製作所 | Fluorolog-3 |
| 中低温示差熱分析装置（DSC200F3） | ネッチ(株) | DSC200F |
| 高分子相構造解析システム（PP-1000） | 大塚電子(株) | PP-1000 |
| フーリエ変換赤外分光計（FT/IR-6700） | 日本分光(株) | FT/IR-6700 |
| 分子材料分離分析装置群(GPC-1) | (株)島津製作所 | Nexera 40 |
| 分子材料分離分析装置群(GPC-2) | 昭和電工(株) | Shodex GPC-101 |
| 材料分析装置群(接触角測定装置) | AST products, Inc. | VCA Optima XE |
| 材料分析装置群(強度物性測定器) | 英弘精機(株) | TA-XT2i |
| ナノ材料分析装置群(パーティクルサイズアナライザー) | (株)島津製作所 | SALD-2100 |
| ナノ材料分析装置群(動的光散乱計) | 大塚電子(株) | DLS-8000HAL |
| ナノ材料分析装置群(レーザーゼータ電位計) | 大塚電子(株) | ELSZ-1000Z |
バイオ Biological analysis
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 液体クロマトグラフ質量分析計(LC-MS) | サーモフィッシャーサイエンティフィック | Orbitrap Exploris 480 |
| リアルタイムPCR | ロシュ・ダイアグノスティックス(株) | LightCycler 480 System II |
| マイクロアレイスキャナー | アジレント・テクノロジー(株) | SureScan G4900DA |
| 細胞分離分析システム | ソニー(株) | Cell sorter SH800 / Cell analyzer SP6800 |
| CO2インキュベーター | 三洋電機(株) | MCO-40AIC |
| クリーンベンチ | ヤマト科学(株) | ADS131RMUGZ |
| 表面プラズモン解析装置 | GEヘルスケア・ジャパン(株) | Biacore-X100 |
| 安全キャビネット | 三洋電機(株) | MH131AJ |
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- 2024年4月17日
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