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共用設備

スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]

装置ID	NF0087
装置名称	スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]
メーカー名	芝浦メカトロニクス
型番	CFS-4EP-LL
用途	・微細加工（成膜）
仕様	・電源：DC×2、RF×1 ・基板サイズ：最大6inchφ ・プロセスガス：Ar、O2、N2 ・基板加熱：設定300℃ ・逆スパッタ可

利用時間単位	時間（1h）
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	並木地区 MANA棟

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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