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共用設備

UVオゾンクリーナー [UV-1]

装置ID	NF0008
装置名称	UVオゾンクリーナー [UV-1]
メーカー名	サムコ
型番	UV-1
用途	・基板洗浄 ・表面改質
仕様	・光源：紫外線ランプ（184.9nm＆253.7nm） ・ステージ温度：室温～300℃ ・試料サイズ：最大φ8インチ

利用時間単位	時間（1h）
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区 材料信頼性実験棟1F

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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