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共用設備

ダイシングソー [DAD3220]

装置ID	NF0098
装置名称	ダイシングソー [DAD3220]
メーカー名	ディスコ
型番	DAD-3220
用途	・微細加工（切削・研磨）
仕様	・ブレード種：Si用及びAl2O3切断用ブレード ・ウェハサイズ：最大φ6インチ ・切断位置決め精度：5μm以内（CCDカメラによる位置指定）

利用時間単位	時間（1h）
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	並木地区 MANA棟

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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