X線光電子分光分析装置（XPS-Quantera SXM）
| 装置名称 | X線光電子分光分析装置（XPS-Quantera SXM） |
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| メーカー名 | アルバック・ファイ(株) |
| 型番 | Quantera SXM |
| 用途 | ・金属、半導体、有機物等の表面分析 |
| 仕様 | ・走査型単色Al Kα集束X線源 ・最小X線ビーム径：< 10 µm ・X線源パワー：1～50 W ・エネルギー分解能：< 0.5 eV（Ag 3d5/2） ・最大試料サイズ： 60 x 60 x 5 mm |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 124号室 |
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