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共用設備

マルチコーター（セラミックス試料作製装置群）

装置ID	NF0236
装置名称	マルチコーター（セラミックス試料作製装置群）
メーカー名	真空デバイス
型番	VES-30T
用途	・カーボン蒸着 ・金属スパッタ
仕様	・蒸着 ・イオンスパッタ ・親水処理

利用時間単位	時間(1h)
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	電子顕微鏡ユニット
設置場所	並木地区 超高圧電子顕微鏡特殊実験棟 110号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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