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共用設備

水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]

装置ID	NF0256
装置名称	水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
メーカー名	サムコ
型番	AQ-500
用途	・金属酸化膜の還元 ・有機汚れの洗浄 ・レジストアッシング ・親水化処理
仕様	・高周波出力：50-250W ・反応ガス：H2O, O2 ・自動運転プログラム ・試料サイズ：最大φ8インチ

利用時間単位	時間(1h)
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	並木地区 MANA棟

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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