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共用設備

電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]

装置ID	NF0260
装置名称	電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
メーカー名	日本電子
型番	JBX-8100FS
用途	・極微細パターニング
仕様	・常用加速電圧：100kV（最大200kV） ・クロック周波数：125MHz ・12カセット自動搬送 ・試料サイズ：最大φ8インチ

利用時間単位	時間(1h)
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区 材料信頼性実験棟1F

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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