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共用設備

分光エリプソメーター [UNECS-2000A]

装置ID	NF0264
装置名称	分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
メーカー名	アルバック
型番	UNECS-2000A
用途	・微細加工（評価・計測）
仕様	・光源：ハロゲンランプ ・波長範囲：530～750 nm ・スポット径：1mm ・入射角：70°固定 ・試料サイズ：最大φ200mm

利用時間単位	時間(1h)
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	千現地区 材料信頼性実験棟1F

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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