FIB加工装置(JEM-9320FIB)
装置名称 | FIB加工装置(JEM-9320FIB) |
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メーカー名 | 日本電子(株) |
型番 | JEM-9320FIB |
用途 | ・TEM試料作製 |
仕様 | ・加速電圧:30kV ・分解能:6nm |
利用時間単位 | セッション(3.5h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 115号室 |
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