FIB加工装置（JEM-9310FIB）
| 装置名称 | FIB加工装置（JEM-9310FIB） |
|---|---|
| メーカー名 | 日本電子(株) |
| 型番 | JEM-9310FIB |
| 用途 | ・TEM試料作製 |
| 仕様 | ・加速電圧：30kV ・分解能：8nm |
| 利用時間単位 | セッション（3.5h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 212号室 |
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