電界放出形走査電子顕微鏡(SU8000)
装置名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡(SU8000) |
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メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
型番 | SU8000 |
用途 | 表面の形状観察及び元素分析 |
仕様 | ・冷陰極電界放出形電子銃 ・対物レンズ:セミインレンズ型 ・加速電圧:0.5~30 kV ・二次電子像分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV)、 2.0 nm(加速電圧1 kV)、 リターディングモード:1.4 nm(照射電圧1 kV) ・リターディングモード 照射電圧:100 V~2.0 kV(加速電圧:500 V~3.0 kV) ・倍率:20~2千倍(低倍率モード)、80~80万倍(高倍率モード) ・最大試料サイズ:φ100 mm ・反射電子検出器搭載 ・透過電子信号(BF、擬似DF)検出 ・EDS付属(Bluker FlatQUAD) エネルギー分解能:129 eV以下 検出可能元素:B~U |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 114号室 |
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