走査電子顕微鏡（JSM-6510）
| 装置ID | NF0181 |
|---|---|
| 装置名称 | 走査電子顕微鏡（JSM-6510） |
| メーカー名 | 日本電子(株) |
| 型番 | JSM-6510 |
| 用途 | 表面の形状観察 |
| 仕様 | ・Wフィラメント電子銃 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子分解能：3.0 nm（加速電圧30 kV）、 8.0 nm (加速電圧3 kV）、 15.0 nm（加速電圧1 kV） ・倍率：5～30万倍 ・最大試料サイズ：φ150 mm ・操作ナビ画面にナビゲーション表示 ・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能 |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 112号室 |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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