FE-SEM+EDX [SU8230]
![FE-SEM+EDX [SU8230]](data/facility_item/1562898164_2.jpg)
| 装置ID | NF0083 |
|---|---|
| 装置名称 | FE-SEM+EDX [SU8230] |
| メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| 型番 | SU8230 |
| 用途 | ・微細加工（評価・計測） |
| 仕様 | ・冷陰極電界放出電子銃 ・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV) ・付加機能：EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野) |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 利用可能形態 |
|
| 料金案内 | NOF利用料金表 |
| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 |
※予約状況につきましては、お問い合わせください。
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