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共用設備

卓上電子顕微鏡 [TM3000]

装置ID	NF0122
装置名称	卓上電子顕微鏡 [TM3000]
メーカー名	日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番	TM3000
用途	・微細構造の観察および分析
仕様	・反射電子観察 ・最大倍率: 50000

利用時間単位	時間（1h）
利用可能形態	機器利用：○ 技術指導：○ 技術代行：○
料金案内	NOF利用料金表
マテリアル先端リサーチインフラの利用	○
問い合わせ先部署	微細加工ユニット
設置場所	並木地区 MANA棟

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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