1. ホーム>
  2. 共用設備検索

共用設備

共用設備検索結果

※装置名をクリックすると詳細情報が閲覧できます

FE-SEM(SU8230)+EDX

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
SU8230
仕様
・冷陰極電界放出電子銃
・分解能:0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・付加機能:EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)
機器利用単価
大学・公的機関6,000円/時間
中小企業10,000円/時間
大企業20,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

FE-SEM(S-4800)+EDX

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所
型番
S4800 / X-MAX 80
仕様
・加速電圧:0.5~30kV ,
・最大倍率:800k ,
・検出器:SE/BSE
機器利用単価
大学・公的機関6,000円/時間
中小企業10,000円/時間
大企業20,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

FE-SEM(SU8000)+EDX

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番
SU8000 / Quantax FQ5060
仕様
・加速電圧: 0.5~5kV ,
・最大倍率:800k ,
・加速電圧:SE/BSE
機器利用単価
大学・公的機関6,000円/時間
中小企業10,000円/時間
大企業20,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

ミニSEM+EDX

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番
TM3000
仕様
・反射電子観察
・最大倍率: 50000
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

透過電子顕微鏡

メーカー名
日本電子(株)
型番
JEM2100F
仕様
加速電圧:200kV
分解能:0.1nm
スポットサイズ:0.2nm
【付加機能】
・EDX
・STEM
・STEM-EELS
・Ion cleaner
機器利用単価
大学・公的機関12,000円/時間
中小企業20,000円/時間
大企業40,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

AFM(原子間力顕微鏡)

メーカー名
SII ナノテクノロジー(株)
型番
L-Trace
仕様
・測定モード:コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡
・走査範囲:水平100 x 100 um
・最大試料サイズ: 6インチφ
・付加機能:I-V測定及びマッピング
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

表面段差計

メーカー名
Bruker/アルバック
型番
DekTak 6M
仕様
・垂直分解能:0.1 nm
・最大垂直測定幅:262 µm
・測定長さ:50 µm~30 mm
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

触針式表面段差計

メーカー名
ヤマト科学(株)(KLA Tencor)
型番
Alpha Step IQ
仕様
・走査距離:10mm
・最大段差測定:400um
・試料サイズ:最大φ6インチ
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)

高精度三次元座標測定機

メーカー名
株式会社 ミツトヨ
型番
CRYSTA-Apex S9106
仕様
測定範囲:X900mm×Y1000mm×Z600mm、測定物最大積載量:1200kg、
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
材料創製・加工ステーション
スマートフォン用ページで見る