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共用設備

共用設備検索結果

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3次元測定レーザー顕微鏡

メーカー名
オリンパス
型番
LEXT OLS4000
仕様
・光源 405nm半導体レーザー
・分解能 XY:0.12um/Z:0.01um
・繰り返し性 XY:3σ=0.02um,/Z:1σ=0.012um(対物レンズ100倍時)
・観察モード レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察
・試料サイズ 100mm角以下
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)

FIB-SEMダブルビーム装置

メーカー名
SII ナノテクノロジー(株)
型番
XVision200DB
仕様
・イオン源 Ga液体金属
・FIB加速電圧 1-30kV
・電子銃 ZrO/W熱電界放射型
機器利用単価
大学・公的機関9,000円/時間
中小企業15,000円/時間
大企業30,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

走査電子顕微鏡

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
S-4800
仕様
・電子銃 ZrO/W 電界放射型
・加速電圧 0.1-30kV
・2次電子像分解能 1.0nm (ノーマル:15kV) 1.4nm (リターディング:1.0kV)
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)

イオンスパッタ

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
E-1045
仕様
・成膜材料:白金、カーボン
・試料サイズ:最大φ60mm
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)

オスミウムコータ(2)

メーカー名
メイワフォーシス
型番
Neoc-Pro
仕様
・成膜材料:オスミウム金属
・成膜方式:プラズマCVD
・試料サイズ:最大φ4インチ
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)

原子間力顕微鏡

メーカー名
SII ナノテクノロジー(株)
型番
L-traceⅡ
仕様
・測定モード AFM,DFM,FFM,PM,SIS
・走査範囲 90um
・ステージ移動範囲 X:±75mm/Y:+105mm
・分解能 垂直:0.01nm
・試料サイズ 最大φ6インチ
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)

ワイヤーボンダー(1)

メーカー名
ハイソル(株)(West·Bond)
型番
7476D
仕様
・ボンディング方式:超音波/超音波熱圧着ウェッジボンド方式
・ボンディングウェッジ 45度、90度
・ワイヤー材質 金線、アルミ線
・ワークホルダー温度 300度以下
・試料サイズ 最大50mm角基板,DIPパッケージ
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)

ワイヤーボンダー(2)

メーカー名
West·Bond
型番
Model 7476D
仕様
・ボンディング方式:超音波ウエッジ・ウエッジ技法
・ワイヤ:0.007~0.002インチ径のアルミ又は金ワイヤワークピースの加熱が可能
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (並木ファウンドリ)

室温プローバーシステム

メーカー名
ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー
型番
MX-200/B, B1500A
仕様
・プローブ 同軸プローブ
・マニピュレータ 4基
・I-V測定端子 4ユニット
・C-V測定端子 1ユニット
・試料サイズ 最大φ4インチ
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)

液体窒素プローバーシステム

メーカー名
サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ
型番
SB-LN2PS, 4200-SCS
仕様
・測定温度:77K~500K
・プローブ数:4本
・試料サイズ:最大20mm
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (千現ファウンドリ/微細加工PF)
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