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走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
- メーカー名
- オックスフォード・インストゥルメンツ Oxford Instruments
- 型番
- Jupiter XR
- 仕様
- ・測定モード：形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲：90μm
・ステージ可動範囲：200mm角
・試料サイズ：最大φ8インチ
【特徴】・高速スキャン ・広域アクセス ・多様なイメージングモード ・光熱励振タッピング
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
- メーカー名
- オリンパス
- 型番
- LEXT OLS4000
- 仕様
- ・光源 405nm半導体レーザー
・分解能 XY：0.12um／Z：0.01um
・繰り返し性 XY：3σ=0.02um,／Z：1σ=0.012um（対物レンズ100倍時）
・観察モード レーザー観察，白色光明視野，微分干渉観察
・試料サイズ 100mm角以下
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
- メーカー名
- ブルカージャパン Bruker
- 型番
- Dektak XT-A
- 仕様
- ・分解能：1Å（6.5μmレンジ）
・走査距離：55mm
・触圧範囲：0.03-15mg
・試料サイズ：最大φ8インチ
・その他：自動ステージ、3Dマップ・粗さ・ストレス測定
等
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
室温プローバー [MX-200/B]
- メーカー名
- ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー
- 型番
- MX-200/B, B1500A
- 仕様
- ・プローブ 同軸プローブ
・マニピュレータ 4基
・I-V測定端子 4ユニット
・C-V測定端子 1ユニット
・試料サイズ 最大φ4インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
液体窒素プローバー [SB-LN2]
- メーカー名
- サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ
- 型番
- SB-LN2PS, 4200-SCS
- 仕様
- ・測定温度：77K～500K
・試料冷却方式：液体窒素
・プローブ：SMAプローブ
・マニピュレータ：4基
・I-V測定端子：4ユニット
・試料サイズ：最大20mm角
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
ワイヤーボンダー [7476D #1]
- メーカー名
- West·Bond
- 型番
- Model 7476D
- 仕様
- ・ボンディング方式：超音波ウエッジ・ウエッジ技法
・ワイヤ：0.007～0.002インチ径のアルミ又は金ワイヤワークピースの加熱が可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
ワイヤーボンダー [7476D #2]
- メーカー名
- ハイソル(株)(West·Bond)
- 型番
- 7476D
- 仕様
- ・ボンディング方式：超音波/超音波熱圧着ウェッジボンド方式
・ボンディングウェッジ 45度、90度
・ワイヤー材質 金線、アルミ線
・ワークホルダー温度 300度以下
・試料サイズ 最大50mm角基板，DIPパッケージ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
エリプソメーター [MARY-102FM]
- メーカー名
- ファイブラボ
- 型番
- MARY-102FM
- 仕様
- ・光源：632nm He-Neレーザー
・ビーム径：0.8mm
・入射角：50°，60°，70°
・試料サイズ：最大φ6インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
- メーカー名
- フィルメトリクス株式会社
- 型番
- F54-XY-200-UV
- 仕様
- 【遠隔利用可】
光源：重水素ハロゲンランプ
波長：190-1100nm
測定膜厚範囲：5nm以下～30um
試料サイズ：最大φ8インチ
その他：自動マッピング、顕微式、遠隔利用可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
- メーカー名
- 東朋テクノロジー
- 型番
- FLA-2000-A
- 仕様
- ・測定方式：レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー）
・測定範囲：1～4000MPa
・測定再現性：1.3MPa（1σ）
・試料サイズ：φ3インチ, φ6インチ, φ8インチ
・その他：3Dマッピング機能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
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