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電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8000
- 仕様
- ・冷陰極電界放出形電子銃
・対物レンズ：セミインレンズ型
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.0 nm（加速電圧15 kV）、 2.0 nm（加速電圧1 kV）、 リターディングモード：1.4 nm（照射電圧1 kV）
・リターディングモード 照射電圧：100 V～2.0 kV（加速電圧：500 V～3.0 kV）
・倍率：20～2千倍（低倍率モード）、80～80万倍（高倍率モード）
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・透過電子信号（BF、擬似DF）検出
・EDS付属（Bluker FlatQUAD）
エネルギー分解能：129 eV以下
検出可能元素：B～U
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JSM-6500F
- 仕様
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.5 nm（加速電圧15 kV）、 5.0 nm（加速電圧1 kV）
・倍率：10～50万倍
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属（JED-2300）
エネルギー分解能：133 eV以下
検出可能元素：B～U
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F）
- メーカー名
- 日本電子株式会社
- 型番
- JSM7001F
- 仕様
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.2 nm （加速電圧30 kV）、3.0 nm （加速電圧1 kV）
・倍率：10～1百万倍
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属（JED-2300）
エネルギー分解能：133 eV以下
検出可能元素：B～U
・EBSD：TSL OIM
DigiView 4.0、 Analysis 8.3
・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
卓上電子顕微鏡
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- Miniscope TM3000
- 仕様
- ・倍率 15倍～30,000倍
・観察モード 通常モード、帯電軽減モード
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- TM3000
- 仕様
- ・反射電子観察
・最大倍率: 50000
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [S-4800]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所
- 型番
- S4800 / X-MAX 80
- 仕様
- ・加速電圧:0.5～30kV ,
・最大倍率:800k ,
・検出器:SE/BSE
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [SU8000]
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
- 型番
- SU8000 / Quantax FQ5060
- 仕様
- ・加速電圧: 0.5～5kV ,
・最大倍率:800k ,
・加速電圧:SE/BSE
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
FE-SEM+EDX [SU8230]
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- SU8230
- 仕様
- ・冷陰極電界放出電子銃
・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・付加機能：EDX、反射電子検出器、簡易STEM(明.暗視野)
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
多環境場対応型X線単結晶構造解析装置
- メーカー名
- リガク
- 型番
- XtaLAB SynergyCustom DW
- 仕様
- 金属・セラミックス・有機物など試料の精密結晶構造解析、電子密度解析が可能
1. X線発生装置：最大出力2.97 kW
2. X線波長：Mo Ka、Cu Ka
3. X線検出器：2次元型半導体式
4. ガス吹付型低温装置（最低：20 K、Heガス使用時）
5. ガス吹付型高温装置（最高：1073 K）
6. XRF用プローブ（最低元素：P）
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置（JXA-8500F）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JXA-8500F
- 仕様
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧：1～30 kV
・照射電流：10 pA ～500 nA
・測定可能元素：Be～U
・最大試料サイズ：100 x 100 x 50 mm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
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