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四重極型ICP質量分析装置

メーカー名
アジレント・テクノロジー株式会社
型番
Agilent7850
仕様
1. 高周波電源部
 周波数:27 MHz 出力:1600 W
2. 試料導入部
 マスフローコントロールガス制御
 高マトリックス対応スプレーチャンバー
 ペリスタポンプ(3連)
3. インターフェース部
 コーン:ニッケル、白金
4. 真空システム
 3段差動排気
5. コリジョンリアクションセル
 Heガス対応
6. 質量分析計
 四重極型
 分解能:0.3-1.0 u
 質量分析範囲:2~260 u
7. 検出部
 90度偏向型二次電子増倍管
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

二重収束型ICP質量分析装置

メーカー名
サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)
型番
ELEMENT XR
仕様
・質量分析器:逆Nier-Johnson配置二重収束型
・検出器:イオンカウンティングファラデーカップ
・質量分析範囲:7~240 amu
・プラズマ・イオン種:Ar
・プラズマ周波数:27.1 MHz
・RF出力:~2.0 kW
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

飛行時間型二次イオン質量分析装置

メーカー名
アルバック・ファイ(株)
型番
PHI TRIFT V nanoTOF
仕様
・Biクラスターイオンビーム
・加速電圧:30 kV
・空間分解能:<100 nm(低質量分析)、<1.0 μm(高質量分析)
・質料分解能:>11,000(低質料分子イオン:SiH+等)、>15,000(高質量分子イオン:>200 Da)
・ 深さ方向分析用スパッタビーム:Biイオン、Arイオン、またはO2イオンを選択可能
・ 2D/3D分析可能
・トリプルフォーカス静電アナライザ搭載
・トランスファーベッセル
・最大試料サイズ: φ20 x 5 mm(標準ホルダー)
機器利用単価
大学・公的機関9,000円/時間
中小企業15,000円/時間
大企業30,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット

マルチガス導入グロー放電質量分析システム

メーカー名
サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)
型番
VG9000
仕様
・質量分析器:Nier-Johnson配置二重収束型
・イオン検出器:ファラデー検出器、イオン計数デイリー検出器
・質量分析範囲:7~240 amu
・プラズマ・イオン種:Ar、He
・液体窒素冷却型試料冷却システム
機器利用単価
大学・公的機関6,000円/時間
中小企業10,000円/時間
大企業20,000円/時間
問い合わせ先部署
表面・バルク分析ユニット
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