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TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置

メーカー名
サーモフィッシャー
型番
ThermoFisher Scios2
仕様
FIBによるTEM試料作製
FIB-SEMシリアルセクショニング, 3D-EDS, 3D-EBSD
機器利用単価
大学・公的機関9,000円/時間
中小企業15,000円/時間
大企業30,000円/時間
問い合わせ先部署
構造材料解析ステーション

FIB加工装置

メーカー名
日本電子(株)
型番
JEM-9320FIB
仕様
・加速電圧:30kV
・分解能:6nm
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ステーション

FIB加工装置

メーカー名
日本電子(株)
型番
JEM-9310FIB1
仕様
・加速電圧:30kV
・分解能:8nm
・バルクステージ装備
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ステーション

FIB加工装置

メーカー名
日本電子(株)
型番
JEM-9310FIB2
仕様
・加速電圧:30kV
・分解能:8nm
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ステーション

FIB加工装置

メーカー名
日本電子(株)
型番
JIB-4000
仕様
・加速電圧:30kV
・分解能:5nm
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ステーション

デュアルビーム加工観察装置

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
NB5000
仕様
・FIB :Acc.Volt. 1~40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5~30 kV, resolution 1 nm@15kV
機器利用単価
大学・公的機関9,000円/時間
中小企業15,000円/時間
大企業30,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ステーション

集束イオンビーム加工装置

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
FB-2000S
仕様
・加速電圧:30kV
・マイクロサンプリング機能付属
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ステーション

走査電子顕微鏡

メーカー名
日本電子(株)
型番
JSM-7000F
仕様
・加速電圧:30kV
・分解能:1.2nm@30kV
・分解能:3nm@1kV
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡ステーション

極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
SU8000
仕様
・冷陰極電界放出形電子銃
・二次電子分解能:1.0 nm (15 kV), 2.0 nm (1 kV)
 リターディングモード:1.3nm(試料印加電圧1kV(加速電圧2.5kV))
・加速電圧:0.5~30kV
・リターディングモード
 リターディングによる試料印加電圧:100v~2.0kV(加速電圧:500V~4.5kV)
・最大試料サイズ:Φ100mm
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
材料分析ステーション

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ
型番
S-5500
仕様
・冷陰極電界放出形電子銃
・インレンズ方式
・二次電子分解能:0.4 nm (30kV), 1.6 nm (1kV)
・加速電圧:0.5~30kV
・低倍率モード:60~10,000,高倍率モード:800~2,000,000
・最大試料搭載可能サイズ
 平面 5.0mmx9.5mmx3.5mmH
 断面 最大厚み1.0mmと2.0mmのホルダー
 1.0mm×7.5mm×5.0mmH
 2.0mmx6.5mmx5.0mmH
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
材料分析ステーション
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