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FE-SEM+EDX [JSM-IT800]
- メーカー名
- 日本電子株式会社
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様
- 【性能・仕様】
・加速電圧：0.01～30kV
・倍率：50～200万倍
・分解能：0.6nm(15kV),1.5nm(1kV)
・検出器：SED, UID
・最大試料サイズ：6インチφ
・EDX：JEOL製EX-74710U1L4Q
【特徴】
・低真空SEM対応
・EB描画パターンデータ読込可能
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
オスミウムコーター（TEM試料作製装置群）
- メーカー名
- 株式会社真空デバイス
- 型番
- HPC-1SW
- 仕様
- ・蒸着方式: 2極DCグロー放電スパッタ
・ターゲット: オスミウム
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
微細組織三次元マルチスケール解析装置（SMF-1000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクサイエンス
- 型番
- SMF-1000
- 仕様
- ・トリプルビーム（FIB-SEM-Arイオン）装置
・FIBは最高1nmピッチで制御可能
・加工と観察を繰り返すことで3D像再構築が可能
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置（Scios 2）
- メーカー名
- サーモフィッシャー
- 型番
- ThermoFisher Scios2
- 仕様
- FIBによるTEM試料作製
金属・セラミクス試料の高速分析・方位マップ取得
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置(Ethos NX5000)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク
- 型番
- Ethos NX5000
- 仕様
- 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5－30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1－30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム：加速電圧0.5－2kV、最大ビーム電流20nA
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置（JEM-9310FIB）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-9310FIB
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：8nm
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB加工装置（JEM-9320FIB）
- メーカー名
- 日本電子(株)
- 型番
- JEM-9320FIB
- 仕様
- ・加速電圧：30kV
・分解能：6nm
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB/SEM精密微細加工装置（Helios 650）
- メーカー名
- 日本エフイー・アイ株式会社 FEI Company Japan Ltd.
- 型番
- Helios 650
- 仕様
- 1. SIM像分解能5nm（@30kV）、最大電流65nA
2. SEM像分解能1.5nm（@1kV）、最大電流26nA
3. E-beam: 350V～30 kV、I-Beam: : 500V～30 kV
4. 試料ステージ: XY150 mm、Z10 mm、T: -9°～+57°、R: 360°
5. Ptデポ
6. サンプルリフトアウトシステム
【特徴】1.集束イオンビーム(FIB)加工が可能 2.走査型電子顕微鏡(SEM)観察が可能 3.カラム内で加工薄片をリフトアウト（マイクロサンプリング)可能,【備考】機器利用は利用前に講習が必要
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
デュアルビーム加工観察装置（NB5000）
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ
- 型番
- NB5000
- 仕様
- ・FIB :Acc.Volt. 1～40 kV, max.current 50 nA
・SEM :Acc. Volt. 0.5～30 kV, resolution 1 nm@15kV
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- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
"電子顕微鏡"で検索した結果 60件
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