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卓上SEM（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- 株式会社 日立ハイテク
- 型番
- TM4000PlusII
- 仕様
- 1. 最大倍率：10万倍
2. 加速電圧 : 5 ~ 20 kV
3. 検出器 : 二次電子、反射電子
4. 真空モード：標準、帯電軽減
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク
- 型番
- Ethos NX5000
- 仕様
- 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5－30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1－30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム：加速電圧0.5－2kV、最大ビーム電流20nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関9,000円/時間
- 中小企業15,000円/時間
- 大企業30,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
精密イオン研磨装置（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- ガタン
- 型番
- 695PIPS II
- 仕様
- ・イオンビームエネルギー: 0.1～8 keV
・試料冷却が可能
・観察用デジタルズームカメラ付属
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
マルチコーター（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- 真空デバイス
- 型番
- VES-30T
- 仕様
- ・蒸着
・イオンスパッタ
・親水処理
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
ディンプルグラインダ（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- ガタン
- 型番
- 656 DimpleGrinder
- 仕様
- ・研磨ホイール経: 15 mm
・研磨荷重: 0～40 g
・自動停止機構付属
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
卓上研磨機（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- マルトー
- 型番
- ML-180 DoctorLap
- 仕様
- ・研磨回転数: 50～500 rpm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
小型精密切断器（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- TECHNOORG-LINDA
- 型番
- MS2 MICROSAW
- 仕様
- ・50mmダイヤモンド回転刃
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー
- メーカー名
- DENSsolutions
- 型番
- Lightning
- 仕様
- ・バイアス電圧：最高150V
・加熱：最高1300℃
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー
- メーカー名
- Gatan
- 型番
- Gatan 636
- 仕様
- 冷却温度：-160℃
傾斜：二軸傾斜
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
FIB/SEM精密微細加工装置
- メーカー名
- 日本エフイー・アイ株式会社 FEI Company Japan Ltd.
- 型番
- Helios 650
- 仕様
- 1. SIM像分解能5nm（@30kV）、最大電流65nA
2. SEM像分解能1.5nm（@1kV）、最大電流26nA
3. E-beam: 350V～30 kV、I-Beam: : 500V～30 kV
4. 試料ステージ: XY150 mm、Z10 mm、T: -9°～+57°、R: 360°
5. Ptデポ
6. サンプルリフトアウトシステム
【特徴】1.集束イオンビーム(FIB)加工が可能 2.走査型電子顕微鏡(SEM)観察が可能 3.カラム内で加工薄片をリフトアウト（マイクロサンプリング)可能,【備考】機器利用は利用前に講習が必要
- 機器利用単価
- 大学・公的機関6,000円/時間
- 中小企業10,000円/時間
- 大企業20,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット