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電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
- メーカー名
- 日本電子
- 型番
- JBX-8100FS
- 仕様
- ・最高加速電圧：200kV
・クロック周波数：125MHz
・12カセット自動搬送
・試料サイズ：最大φ8インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関15,000円/時間
- 中小企業25,000円/時間
- 大企業50,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
卓上SEM（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- 株式会社 日立ハイテク
- 型番
- TM4000PlusII
- 仕様
- 1. 最大倍率：10万倍
2. 加速電圧 : 5 ~ 20 kV
3. 検出器 : 二次電子、反射電子
4. 真空モード：標準、帯電軽減
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
マスクレス露光装置 [MLA150]
- メーカー名
- ハイデルベルグ・インストルメンツ
- 型番
- MLA150
- 仕様
- 露光方式:DMD
光源:375nm半導体レーザー
解像度:1um
位置決め精度:0.5um以下
重ね合わせ精度:0.5um以下
最大試料サイズ:8インチ角
- 機器利用単価
- 大学・公的機関6,000円/時間
- 中小企業10,000円/時間
- 大企業20,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]
- メーカー名
- アドバンス理工株式会社
- 型番
- RTP-6
- 仕様
- 加熱方式：放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式
プロセス温度：1100℃以下
昇温速度：10℃/秒以下
プロセスガス：O2, N2, Ar+H2(3%)
試料サイズ：最大φ6インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式：平行平板型
・電源出力：30-300W
・原料：TEOS (SiO2)
・成膜温度：400度以下
・試料サイズ：最大φ8インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
液中原子間力顕微鏡
- メーカー名
- ブルカージャパン株式会社
- 型番
- NanoWizard 4 XP
- 仕様
- 【AFM測定】
・測定環境：大気中、液中
・走査範囲：水平100µm、垂直15µm
・動作モード：コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率：10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法：明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ：10倍、40倍
【その他】
・温度制御：室温～+60℃まで
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
- メーカー名
- 株式会社 エリオニクス
- 型番
- ELS-BODEN
- 仕様
- 加速電圧：100kV
基板サイズ：最大8インチ
フィールドサイズ：1mm
ビーム電流：100pA～10nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関9,000円/時間
- 中小企業15,000円/時間
- 大企業30,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー
- メーカー名
- DENSsolutions
- 型番
- Lightning
- 仕様
- ・バイアス電圧：最高150V
・加熱：最高1300℃
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー
- メーカー名
- Gatan
- 型番
- Gatan 636
- 仕様
- 冷却温度：-160℃
傾斜：二軸傾斜
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
多角度光散乱検出器（分子材料分離分析装置群）
- メーカー名
- ワイアットテクノロジー Wyatt Technology
- 型番
- DAWN HELEOS
- 仕様
- ・検出器数：8
・分子量測定範囲：200～300MDa(タンパク)、200～10MDa(直鎖高分子)
・回転半径測定範囲：10～300nm
【特徴】
・標準品を必要としない分子量の絶対測定法。
・バッチ測定、フロー測定の両方に対応。
・超音波洗浄器によりセル内の汚れ付着を防止し、安定したデータ測定を実現。
【備考】特になし
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット