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卓上SEM(セラミックス試料作製装置群)
- メーカー名
- 株式会社 日立ハイテク
- 型番
- TM4000PlusII
- 仕様
- 1. 最大倍率:10万倍
2. 加速電圧 : 5 ~ 20 kV
3. 検出器 : 二次電子、反射電子
4. 真空モード:標準、帯電軽減
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
マスクレス露光装置 [MLA150]
- メーカー名
- ハイデルベルグ・インストルメンツ
- 型番
- MLA150
- 仕様
- 露光方式:DMD
光源:375nm半導体レーザー
解像度:1um
位置決め精度:0.5um以下
重ね合わせ精度:0.5um以下
最大試料サイズ:8インチ角
- 機器利用単価
- 大学・公的機関6,000円/時間
- 中小企業10,000円/時間
- 大企業20,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]
- メーカー名
- アドバンス理工株式会社
- 型番
- RTP-6
- 仕様
- 加熱方式:放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式
プロセス温度:1100℃以下
昇温速度:10℃/秒以下
プロセスガス:O2, N2, Ar+H2(3%)
試料サイズ:最大φ6インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式:平行平板型
・電源出力:30-300W
・原料:TEOS (SiO2)
・成膜温度:400度以下
・試料サイズ:最大φ8インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
液中原子間力顕微鏡
- メーカー名
- ブルカージャパン株式会社
- 型番
- NanoWizard 4 XP
- 仕様
- 【AFM測定】
・測定環境:大気中、液中
・走査範囲:水平100µm、垂直15µm
・動作モード:コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率:10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法:明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ:10倍、40倍
【その他】
・温度制御:室温~+60℃まで
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
- メーカー名
- 株式会社 エリオニクス
- 型番
- ELS-BODEN
- 仕様
- 加速電圧:100kV
基板サイズ:最大8インチ
フィールドサイズ:1mm
ビーム電流:100pA~10nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関9,000円/時間
- 中小企業15,000円/時間
- 大企業30,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー
- メーカー名
- DENSsolutions
- 型番
- Lightning
- 仕様
- ・バイアス電圧:最高150V
・加熱:最高1300℃
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー
- メーカー名
- Gatan
- 型番
- Gatan 636
- 仕様
- 冷却温度:-160℃
傾斜:二軸傾斜
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
多角度光散乱検出器 MALS
- メーカー名
- ワイアットテクノロジー Wyatt Technology
- 型番
- DAWN 8
- 仕様
- ・検出器数:8
・分子量測定範囲:200~300MDa(タンパク)、200~10MDa(直鎖高分子)
・回転半径測定範囲:10~300nm
【特徴】
・標準品を必要としない分子量の絶対測定法。
・バッチ測定、フロー測定の両方に対応。
・超音波洗浄器によりセル内の汚れ付着を防止し、安定したデータ測定を実現。
【備考】特になし
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット
GPC
- メーカー名
- 島津製作所 Shimadzu
- 型番
- Nexera 40
- 仕様
- ・送液ユニット:LC-40D (流量範囲0.0001~5mL/min)
・オートサンプラー:SIL-40
・カラムオーブン:CTO-40C (室温-10~100℃)
・PDA検出器:SPD-40 (波長範囲190~700nm)
・RI検出器:Shodex RI-501
【特徴】
・RI検出器は二重温調により安定までの時間が短く、安定性も向上。
・低キャリーオーバーのオートサンプラー搭載。
・PCを介さずにタッチパネルによる簡便な操作も可能。
【備考】特になし
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- バイオ分析ユニット