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マスクレス露光装置 [MLA150]
- メーカー名
- ハイデルベルグ・インストルメンツ
- 型番
- MLA150
- 仕様
- 露光方式:DMD
光源:375nm半導体レーザー
解像度:1um
位置決め精度:0.5um以下
重ね合わせ精度:0.5um以下
最大試料サイズ:8インチ角
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
- 中小企業11,000円/時間
- 大企業22,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- AQ-500
- 仕様
- ・高周波出力：50-250W
・反応ガス：H2O,O2
・自動運転プログラム
・試料サイズ：最大φ8インチ
・水蒸気プラズマによる還元、洗浄、樹脂接合、親水化処理が可能
・酸素ガスを添加することにより、還元雰囲気でのアッシングが可能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
UVオゾンクリーナー [UV-1]
- メーカー名
- サムコ
- 型番
- UV-1
- 仕様
- ・光源：紫外線ランプ（184.9nm＆253.7nm）
・ステージ温度：室温～300℃
・試料サイズ：最大φ8インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
スパッタ装置 [JSP-8000]
- メーカー名
- (株)アルバック
- 型番
- J sputter
- 仕様
- ・スパッタ方式 DC/RFマグネトロンスパッタ，反応性／3元同時／逆スパッタ可能
・電源出力 最大500W
・カソード φ4インチ×4式
・プロセスガス Ar，O2，N2
・試料サイズ 最大φ6インチ：試料ステージ水冷／加熱可 （最大300度）
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
- メーカー名
- 芝浦メカトロニクス
- 型番
- CFS-4EP-LL
- 仕様
- ・スパッタ方式：DC/RFマグネトロンスパッタ，反応性／2元同時／逆スパッタ／バイアススパッタ可能
・電源出力：最大500W
・カソード：φ3インチ×4式
・プロセスガス：Ar，O2，N2
・試料サイズ：最大φ8インチ（水冷ステージ）
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
- メーカー名
- アールデック
- 型番
- RDEB-1206K
- 仕様
- ・蒸着方式 電子銃型×1式
・到達真空度 1.0e-5 Pa
・TS間距離 500mm
・試料サイズ 最大φ6インチ
・その他 水冷式試料ステージ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
- メーカー名
- 株式会社アールデック
- 型番
- ADS-E86
- 仕様
- 蒸着方式：電子銃型
ターゲット：Ti, Cr, Au, Al, Ni, Pt, 他
到達真空度：10-5Pa台
TS間距離：500mm
試料サイズ：最大φ8インチ
その他：ロードロック式自動蒸着、水冷式資料ステージ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
原子層堆積装置 [AD-230LP]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- AD-230LP
- 仕様
- 成膜方式：Thermal ALD, Plasma ALD
原料：TMA, TDMAT, BDEAS, 他
酸化膜：H2O, O3, O2
窒化膜：N2, NH3
試料サイズ：最大φ8インチ
その他：ロードロック式
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式：平行平板型
・電源出力：30-300W
・原料：TEOS (SiO2)
・成膜温度：400度以下
・試料サイズ：最大φ8インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式 平行平板型
・電源出力 30-300W
・原料：TEOS (SiO2), SN-2 (SiN)
・成膜温度 400度以下
・試料サイズ 最大φ8インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
- 中小企業5,500円/時間
- 大企業11,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
"千現（つくば）"で検索した結果 162件