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ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]

メーカー名
住友精密工業
型番
MUC-21 RV-APS-SE
仕様
・プラズマ励起方式 誘導結合型
・電源出力 ICP出力:最大3kW/バイアス出力:最大1kW
・プロセスガス:CHF3,CF4,C4F8,SF6,Ar,O2,He
・試料ステージ温度 -10~+40度 
・試料サイズ 最大φ4インチ
・その他 SiO2エッチングレート:0.5um/min以上,終点検出機能装備
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
中小企業11,000円/時間
大企業22,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]

メーカー名
オックスフォード・インストゥルメンツ
型番
PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
仕様
・プラズマ励起方式:誘導結合型
・電源出力:ICP出力 最大3kW/バイアス出力 最大300W
・プロセスガス:CL2, BCL3, SF6, Ar, N2, O2
・試料ステージ温度:-30~80℃
・試料サイズ:最大φ4インチ
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]

メーカー名
アドバンス理工株式会社
型番
RTP-6
仕様
加熱方式:放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式
プロセス温度:1200℃以下
昇温速度:10℃/秒以下
プロセスガス:Ar, N2, Ar;H2(3%)
試料サイズ:最大φ6インチ
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]

メーカー名
アドバンス理工株式会社
型番
RTP-6
仕様
加熱方式:放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式
プロセス温度:1100℃以下
昇温速度:10℃/秒以下
プロセスガス:O2, N2, Ar+H2(3%)
試料サイズ:最大φ6インチ
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

ダイシングソー [DAD322]

メーカー名
ディスコ
型番
DAD322
仕様
・切削刃 ダイヤモンドブレード
・切削範囲 XY:162mm以下
・スピンドル回転数 3000-40000rpm
・顕微鏡 モニタ上倍率27倍/270倍電動切替
・試料サイズ 最大φ6インチ
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

鍛造設備(油圧プレス)

メーカー名
川崎油工
型番
HFP2-300
仕様
・最大荷重:300ton
・アンビル:480×220×470mm
・加圧速度:高速 40mm/s:低速 22mm/s
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
材料溶解創製ユニット

70ton大型スウェージングマシーン

メーカー名
日本クロス圧延
型番
15HP-DH4
仕様
・最大荷重:70ton
・寸法範囲:35 mmφ→6 mmφ
・熱間・冷間加工可能
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
材料溶解創製ユニット

18ton小型スウェージングマシーン

メーカー名
日本クロス圧延
型番
USD-6000
仕様
・最大荷重:18ton
・寸法範囲:10 mmφ→0.35 mmφ
・冷間加工専用
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
材料溶解創製ユニット

熱間2段ロール圧延機

メーカー名
大野ロール
型番
HOT-12
仕様
・最大荷重:150ton
・板厚:2~30mm(50mm)
・板巾:250mm以下
・ロール速度:30mm/min(最大)
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
材料溶解創製ユニット

溝ロール圧延機

メーカー名
大野ロール
型番
2RMG-400S
仕様
・最大荷重:150ton
・溝寸法:60mm◇→ 28.7mm◇
・圧延速度:30m/min(一定)
・圧延温度:RT~1200℃
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
材料溶解創製ユニット

"千現(つくば)"で検索した結果  165件

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