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UVオゾンクリーナー [UV-1]
- メーカー名
- サムコ
- 型番
- UV-1
- 仕様
- ・光源：紫外線ランプ（184.9nm＆253.7nm）
・ステージ温度：室温～300℃
・試料サイズ：最大φ8インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
スパッタ装置 [JSP-8000]
- メーカー名
- (株)アルバック
- 型番
- J sputter
- 仕様
- ・スパッタ方式 DC/RFマグネトロンスパッタ，反応性／3元同時／逆スパッタ可能
・電源出力 最大500W
・カソード φ4インチ×4式
・プロセスガス Ar，O2，N2
・試料サイズ 最大φ6インチ：試料ステージ水冷／加熱可 （最大300度）
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
- メーカー名
- 芝浦メカトロニクス
- 型番
- CFS-4EP-LL
- 仕様
- ・スパッタ方式：DC/RFマグネトロンスパッタ，反応性／2元同時／逆スパッタ／バイアススパッタ可能
・電源出力：最大500W
・カソード：φ3インチ×4式
・プロセスガス：Ar，O2，N2
・試料サイズ：最大φ8インチ（水冷ステージ）
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
- メーカー名
- アールデック
- 型番
- RDEB-1206K
- 仕様
- ・蒸着方式 電子銃型×1式
・到達真空度 1.0e-5 Pa
・TS間距離 500mm
・試料サイズ 最大φ6インチ
・その他 水冷式試料ステージ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
- メーカー名
- 株式会社アールデック
- 型番
- ADS-E86
- 仕様
- 蒸着方式：電子銃型
ターゲット：Ti, Cr, Au, Al, Ni, Pt, 他
到達真空度：10-5Pa台
TS間距離：500mm
試料サイズ：最大φ8インチ
その他：ロードロック式自動蒸着、水冷式資料ステージ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
原子層堆積装置 [AD-230LP]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- AD-230LP
- 仕様
- 成膜方式：Thermal ALD, Plasma ALD
原料：TMA, TDMAT, BDEAS, 他
酸化膜：H2O, O3, O2
窒化膜：N2, NH3
試料サイズ：最大φ8インチ
その他：ロードロック式
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式：平行平板型
・電源出力：30-300W
・原料：TEOS (SiO2)
・成膜温度：400度以下
・試料サイズ：最大φ8インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式 平行平板型
・電源出力 30-300W
・原料：TEOS (SiO2), SN-2 (SiN)
・成膜温度 400度以下
・試料サイズ 最大φ8インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
- メーカー名
- 住友精密工業
- 型番
- MUC-21 RV-APS-SE
- 仕様
- ・プラズマ励起方式 誘導結合型
・電源出力 ICP出力：最大3kW／バイアス出力：最大1kW
・プロセスガス：CHF3，CF4，C4F8，SF6，Ar，O2，He
・試料ステージ温度 -10～+40度
・試料サイズ 最大φ4インチ
・その他 SiO2エッチングレート：0.5um/min以上，終点検出機能装備
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]
- メーカー名
- オックスフォード・インストゥルメンツ
- 型番
- PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
- 仕様
- ・プラズマ励起方式：誘導結合型
・電源出力：ICP出力 最大3kW／バイアス出力 最大300W
・プロセスガス：CL2, BCL3, SF6, Ar, N2, O2
・試料ステージ温度：-30～80℃
・試料サイズ：最大φ6インチ
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"千現（つくば）"で検索した結果 164件
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