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SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式：平行平板型
・電源出力：30-300W
・原料：TEOS (SiO2)
・成膜温度：400度以下
・試料サイズ：最大φ8インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式 平行平板型
・電源出力 30-300W
・原料：TEOS (SiO2), SN-2 (SiN)
・成膜温度 400度以下
・試料サイズ 最大φ8インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
- メーカー名
- 住友精密工業
- 型番
- MUC-21 RV-APS-SE
- 仕様
- ・プラズマ励起方式 誘導結合型
・電源出力 ICP出力：最大3kW／バイアス出力：最大1kW
・プロセスガス：CHF3，CF4，C4F8，SF6，Ar，O2，He
・試料ステージ温度 -10～+40度
・試料サイズ 最大φ4インチ
・その他 SiO2エッチングレート：0.5um/min以上，終点検出機能装備
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]
- メーカー名
- オックスフォード・インストゥルメンツ
- 型番
- PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
- 仕様
- ・プラズマ励起方式：誘導結合型
・電源出力：ICP出力 最大3kW／バイアス出力 最大300W
・プロセスガス：CL2, BCL3, SF6, Ar, N2, O2
・試料ステージ温度：-30～80℃
・試料サイズ：最大φ6インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]
- メーカー名
- アドバンス理工株式会社
- 型番
- RTP-6
- 仕様
- 加熱方式：放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式
プロセス温度：1100℃以下
昇温速度：10℃/秒以下
プロセスガス：Ar, N2, Ar;H2(3%)
試料サイズ：最大φ6インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]
- メーカー名
- アドバンス理工株式会社
- 型番
- RTP-6
- 仕様
- 加熱方式：放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式
プロセス温度：1100℃以下
昇温速度：10℃/秒以下
プロセスガス：O2, N2, Ar+H2(3%)
試料サイズ：最大φ6インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
ダイシングソー [DAD322]
- メーカー名
- ディスコ
- 型番
- DAD322
- 仕様
- ・切削刃 ダイヤモンドブレード
・切削範囲 XY：162mm以下
・スピンドル回転数 3000-40000rpm
・顕微鏡 モニタ上倍率27倍／270倍電動切替
・試料サイズ 最大φ6インチ
- 料金案内
- NOF利用料金表
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
鍛造設備（油圧プレス）
- メーカー名
- 川崎油工
- 型番
- HFP2-300
- 仕様
- ・最大荷重：300ton
・アンビル：480×220×470mm
・加圧速度：高速 40mm/s：低速 22mm/s
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- 問い合わせ先部署
- 材料溶解創製ユニット
70ton大型スウェージングマシーン
- メーカー名
- 日本クロス圧延
- 型番
- 15HP-DH4
- 仕様
- ・最大荷重：70ton
・寸法範囲：35 mmφ→6 mmφ
・熱間・冷間加工可能
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- 問い合わせ先部署
- 材料溶解創製ユニット
18ton小型スウェージングマシーン
- メーカー名
- 日本クロス圧延
- 型番
- USD-6000
- 仕様
- ・最大荷重：18ton
・寸法範囲：10 mmφ→0.35 mmφ
・冷間加工専用
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- 問い合わせ先部署
- 材料溶解創製ユニット
"千現（つくば）"で検索した結果 167件
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