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多環境場対応型X線単結晶構造解析装置
- メーカー名
- リガク
- 型番
- XtaLAB SynergyCustom DW
- 仕様
- 金属・セラミックス・有機物など試料の精密結晶構造解析、電子密度解析が可能
1. X線発生装置：最大出力2.97 kW
2. X線波長：Mo Ka、Cu Ka
3. X線検出器：2次元型半導体式
4. ガス吹付型低温装置（最低：20 K、Heガス使用時）
5. ガス吹付型高温装置（最高：1073 K）
6. XRF用プローブ（最低元素：P）
- 機器利用単価
- 大学・公的機関6,000円/時間
- 中小企業10,000円/時間
- 大企業20,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
- メーカー名
- サムコ
- 型番
- AQ-500
- 仕様
- ・高周波出力：50-250W
・反応ガス：H2O, O2
・自動運転プログラム
・試料サイズ：最大φ8インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]
- メーカー名
- 株式会社アルバック
- 型番
- UEP-3000BS
- 仕様
- ・蒸着方式 電子銃型×2式(6連、4連)
・到達真空度 1.0e-5 Pa
・TS間距離 500 - 700mm で可変
・試料サイズ 最大φ3インチ
・その他 水冷式試料ステージ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク
- 型番
- Ethos NX5000
- 仕様
- 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5－30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1－30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム：加速電圧0.5－2kV、最大ビーム電流20nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関9,000円/時間
- 中小企業15,000円/時間
- 大企業30,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
並木クリーンルーム
- メーカー名
- ヤマト科学(株)、ミカサ（株）、オリンパス（株）
- 型番
- ー
- 仕様
- ・スピンコーター（500-8000rpm、プログラム可能）
・ホットプレート（室温～350℃）
・有機/無機ドラフトチャンバー
・金属顕微鏡（対物 x5～x100、明/暗視野、微分干渉像）
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 微細加工ユニット
走査型硬X線光電子分光分析装置
- メーカー名
- アルバックファイ
- 型番
- PHI Quantes
- 仕様
- ・硬X線（Cr Ka線）と軟X線（Al Ka線）の単色化２線源を搭載
・ガスクラスターイオン銃(GCIB)
・加熱・冷却・電圧印加機構搭載
・トランスファーベッセル付属
- 機器利用単価
- 大学・公的機関6,000円/時間
- 中小企業10,000円/時間
- 大企業20,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
卓上型粉末回折計-Cu_N2
- メーカー名
- リガク
- 型番
- MiniFlex600-Cu_N2
- 仕様
- ・X線発生装置：最大出力0.6 kW
・X線波長：Cu Ka
・試料部：試料水平型
・X線検出器：1次元型半導体式
・６連自動試料交換機
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 表面・バルク分析ユニット
精密イオン研磨装置（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- ガタン
- 型番
- 695PIPS II
- 仕様
- ・イオンビームエネルギー: 0.1～8 keV
・試料冷却が可能
・観察用デジタルズームカメラ付属
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
マルチコーター（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- 真空デバイス
- 型番
- VES-30T
- 仕様
- ・蒸着
・イオンスパッタ
・親水処理
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット
ディンプルグラインダ（セラミックス試料作製装置群）
- メーカー名
- ガタン
- 型番
- 656 DimpleGrinder
- 仕様
- ・研磨ホイール経: 15 mm
・研磨荷重: 0～40 g
・自動停止機構付属
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡ユニット