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電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]

メーカー名
株式会社アルバック
型番
UEP-3000BS
仕様
・蒸着方式 電子銃型×2式(6連、4連)
・到達真空度 1.0e-5 Pa
・TS間距離 500 - 700mm で可変
・試料サイズ 最大φ3インチ
・その他 水冷式試料ステージ
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)

TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置

メーカー名
株式会社日立ハイテク
型番
Ethos NX5000
仕様
1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5-30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1-30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム:加速電圧0.5-2kV、最大ビーム電流20nA
機器利用単価
大学・公的機関9,000円/時間
中小企業15,000円/時間
大企業30,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡解析ステーション

並木クリーンルーム

メーカー名
ヤマト科学(株)、ミカサ(株)、オリンパス(株)
型番
  ー
仕様
・スピンコーター(500-8000rpm、プログラム可能)
・ホットプレート(室温~350℃)
・有機/無機ドラフトチャンバー
・金属顕微鏡(対物 x5~x100、明/暗視野、微分干渉像)
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)

走査型硬X線光電子分光分析装置

メーカー名
アルバックファイ
型番
PHI Quantes
仕様
・硬X線(Cr Kα線)と軟X線(Al Kα線)の単色化2線源を搭載
・ガスクラスターイオン銃(GCIB)
・加熱・冷却・電圧印加機構搭載
・トランスファーベッセル付属
機器利用単価
大学・公的機関6,000円/時間
中小企業10,000円/時間
大企業20,000円/時間
問い合わせ先部署
材料分析ステーション

卓上型粉末回折計-Cu_N2

メーカー名
リガク
型番
MiniFlex600-Cu_N2
仕様
・X線発生装置:最大出力0.6 kW
・X線波長:Cu Kα
・試料部:試料水平型
・X線検出器:1次元型半導体式
・6連自動試料交換機
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
材料分析ステーション

精密イオン研磨装置(セラミックス試料作製装置群)

メーカー名
ガタン
型番
695PIPS II
仕様
・イオンビームエネルギー: 0.1~8 keV
・試料冷却が可能
・観察用デジタルズームカメラ付属
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡解析ステーション

マルチコーター(セラミックス試料作製装置群)

メーカー名
真空デバイス
型番
VES-30T
仕様
・蒸着
・イオンスパッタ
・親水処理
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡解析ステーション

ホットプレート(セラミックス試料作製装置群)

メーカー名
アズワン
型番
HP-1SAハイパワーデジタルホットプレート
仕様
・デジタルホットプレート
・最高温度400℃
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡解析ステーション

ディンプルグラインダ(セラミックス試料作製装置群)

メーカー名
ガタン
型番
656 DimpleGrinder
仕様
・研磨ホイール経: 15 mm
・研磨荷重: 0~40 g
・自動停止機構付属
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡解析ステーション

標準形デジタルインジケータ(セラミックス試料作製装置群)

メーカー名
ミツトヨ
型番
543-175 デジタルインジケータ
仕様
・ゼロセット機能
機器利用単価
大学・公的機関3,000円/時間
中小企業5,000円/時間
大企業10,000円/時間
問い合わせ先部署
電子顕微鏡解析ステーション
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