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電子銃型蒸着装置 [ADS-E810]

メーカー名
アールデック(R-DEC)
型番
ADS-E810
仕様
【性能・仕様】
・蒸着方式:電子銃型
・ターゲット:Al, Ti, Ni, AuGe, Pt, Au, Pd, Ag, Cr, 他
・到達真空度:10-5 Pa
・TS間距離:500 mm
・最大試料サイズ:φ8inch
・その他:ロードロック式、水冷式試料ステージ
【特徴】
・ロードロックによる迅速なプロセス
・最大10種類の材料を積層可能
・レシピによる多層成膜の自動実行
・基板冷却機構
・反射電子トラップ機構

機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4]

メーカー名
芝浦メカトロニクス(SHIBAURA MECHATRONICS)
型番
CFS-4EP-LL
仕様
【性能・仕様】
・電源:DC×2、RF×1
・電源出力:500W(最大)
・カソード:φ3インチ×4式
・基板サイズ:最大8inchφ
・プロセスガス:Ar、O2、N2
・基板加熱:設定300℃
・逆スパッタ可
【特徴】
・DC及びRFスパッタ電源を備えていることにより、多様な材料に対応
・O2及びN2ガスの導入による反応性スパッタが可能
・異種ターゲットの同時使用による混合材料の堆積が可能
・レシピによる多層成膜の自動実行
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

マスクレス露光装置 [DL-1000]

メーカー名
ナノシステムソリューションズ
型番
DL-1000
仕様
・光源 405nm半導体レーザー(h線)
・照度 300mW/cm2
・位置決め精度 ±1um以下
・重ね合わせ精度 ±1um以下
・試料サイズ 最大4インチ角
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]

メーカー名
ナノシステムソリューションズ
型番
DL-1000 / NC2P
仕様
・光源 405nm LD(h線)
・照度:10W/cm2
・位置決め精度:500nm以下
・重ね合わせ精度:500nm以下
・試料サイズ 最大8インチ角
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業6,600円/時間
中小企業11,000円/時間
大企業22,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

マスクアライナー [MA-6]

メーカー名
ズース・マイクロテック
型番
MA-6
仕様
・光源:i線、h線、g線
・マスク寸法:102mm角~152mm角
・基板寸法:76mm径以下
・露光最小線幅:0.75µm
・位置決め精度:0.5µm(表面側)
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]

メーカー名
サムコ
型番
AQ-500
仕様
・高周波出力:50-250W
・反応ガス:H2O, O2
・自動運転プログラム
・試料サイズ:最大φ8インチ
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]

メーカー名
芝浦メカトロニクス
型番
CFS-4EP-LL
仕様
・電源:DC×2、RF×1
・基板サイズ:最大6inchφ
・プロセスガス:Ar、O2、N2
・基板加熱:設定300℃
・逆スパッタ可
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

電子銃型蒸着装置 [MB-501010]

メーカー名
エイコーエンジニアリング
型番
仕様
・蒸発源:材料ハース10個
・T-S距離:700mm
・基板サイズ:最大φ6インチ
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

原子層堆積装置 [SUNALE R-150]

メーカー名
アルテック(株)/Picosun
型番
SUNALE R-150 ALD
仕様
・原料ソース:3源
・基板サイズ:最大6inchφ
・基板温度:室温~300℃
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

CCP-RIE装置 [RIE-200NL]

メーカー名
サムコ
型番
RIE-200NL
仕様
・プラズマ励起方式 平行平板型
・電源出力 最大300W
・プロセスガス CHF3,CF4,SF6,Ar,O2,N2
・試料ステージ温度 室温
・試料サイズ 最大φ8インチ
機器利用単価
大学・公的機関・スタートアップ企業3,300円/時間
中小企業5,500円/時間
大企業11,000円/時間
問い合わせ先部署
微細加工ユニット

"並木(つくば)"で検索した結果  51件

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