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赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]
- メーカー名
- アドバンス理工株式会社
- 型番
- RTP-6
- 仕様
- 加熱方式:放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式
プロセス温度:1100℃以下
昇温速度:10℃/秒以下
プロセスガス:O2, N2, Ar+H2(3%)
試料サイズ:最大φ6インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
- メーカー名
- サムコ株式会社
- 型番
- PD-220NL
- 仕様
- ・プラズマ方式:平行平板型
・電源出力:30-300W
・原料:TEOS (SiO2)
・成膜温度:400度以下
・試料サイズ:最大φ8インチ
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク
- 型番
- Ethos NX5000
- 仕様
- 1. FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5-30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
2. SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1-30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
3. 低加速Arイオンビーム:加速電圧0.5-2kV、最大ビーム電流20nA
- 機器利用単価
- 大学・公的機関9,000円/時間
- 中小企業15,000円/時間
- 大企業30,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡解析ステーション
走査型硬X線光電子分光分析装置
- メーカー名
- アルバックファイ
- 型番
- PHI Quantes
- 仕様
- ・硬X線(Cr Kα線)と軟X線(Al Kα線)の単色化2線源を搭載
・ガスクラスターイオン銃(GCIB)
・加熱・冷却・電圧印加機構搭載
・トランスファーベッセル付属
- 機器利用単価
- 大学・公的機関6,000円/時間
- 中小企業10,000円/時間
- 大企業20,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 材料分析ステーション
精密イオン研磨装置(セラミックス試料作製装置群)
- メーカー名
- ガタン
- 型番
- 695PIPS II
- 仕様
- ・イオンビームエネルギー: 0.1~8 keV
・試料冷却が可能
・観察用デジタルズームカメラ付属
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡解析ステーション
マルチコーター(セラミックス試料作製装置群)
- メーカー名
- 真空デバイス
- 型番
- VES-30T
- 仕様
- ・蒸着
・イオンスパッタ
・親水処理
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡解析ステーション
ホットプレート(セラミックス試料作製装置群)
- メーカー名
- アズワン
- 型番
- HP-1SAハイパワーデジタルホットプレート
- 仕様
- ・デジタルホットプレート
・最高温度400℃
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡解析ステーション
ディンプルグラインダ(セラミックス試料作製装置群)
- メーカー名
- ガタン
- 型番
- 656 DimpleGrinder
- 仕様
- ・研磨ホイール経: 15 mm
・研磨荷重: 0~40 g
・自動停止機構付属
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡解析ステーション
標準形デジタルインジケータ(セラミックス試料作製装置群)
- メーカー名
- ミツトヨ
- 型番
- 543-175 デジタルインジケータ
- 仕様
- ・ゼロセット機能
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡解析ステーション
卓上研磨機(セラミックス試料作製装置群)
- メーカー名
- マルトー
- 型番
- ML-180 DoctorLap
- 仕様
- ・研磨回転数: 50~500 rpm
- 機器利用単価
- 大学・公的機関3,000円/時間
- 中小企業5,000円/時間
- 大企業10,000円/時間
- 問い合わせ先部署
- 電子顕微鏡解析ステーション