断面試料作製装置（SM-09020CP）
| 装置名称 | 断面試料作製装置（SM-09020CP） |
|---|---|
| メーカー名 | 日本電子(株) |
| 型番 | SM-09020CP |
| 用途 | ・断面試料表面の鏡面加工 |
| 仕様 | ・イオン加速電圧：2〜6 kV ・イオンビーム径：500μm ・最大搭載試料サイズ：11 x 10 x 2 mm ・試料角度調整範囲：±5° ・ミリングスピード：100μm/hr ・使用ガス：アルゴン(6N) |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
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| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | × |
| 問い合わせ先部署 | 表面・バルク分析ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 114号室 |
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