無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
| 装置名称 | 無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 |
|---|---|
| メーカー名 | フィッシオーネ |
| 型番 | Model 1040 Nanomill |
| 用途 | ・透過電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製 |
| 仕様 | ・イオン：アルゴン ・イオンエネルギー：50～2000eV 可変 ・イオン電流：1mA/cm2 ・イオンビームサイズ：2μm |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 電子顕微鏡ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 超高圧電子顕微鏡特殊実験棟 102号室 |
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