イオンスパッタ [E-1045]
![イオンスパッタ [E-1045]](data/facility_item/1637131513_16.jpg)
装置名称 | イオンスパッタ [E-1045] |
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メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
型番 | E-1045 |
用途 | ・SEM,FIB-SEMの前処理 |
仕様 | ・成膜材料:白金、カーボン ・プラチナ成膜方式:ダイオード放電マグネトロン型 ・カーボン成膜方式:直接通電加熱蒸着 ・試料サイズ:最大φ60mm |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室 |
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