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共用設備

イオンスパッタ [E-1045]

イオンスパッタ [E-1045]
装置名称 イオンスパッタ [E-1045]
メーカー名 (株)日立ハイテクノロジーズ
型番 E-1045
用途 ・SEM,FIB-SEMの前処理
仕様 ・成膜材料:白金、カーボン
・プラチナ成膜方式:ダイオード放電マグネトロン型
・カーボン成膜方式:直接通電加熱蒸着
・試料サイズ:最大φ60mm
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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