イオンスパッタ [E-1045]
![イオンスパッタ [E-1045]](data/facility_item/1637131513_16.jpg)
| 装置名称 | イオンスパッタ [E-1045] |
|---|---|
| メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ |
| 型番 | E-1045 |
| 用途 | ・SEM，FIB-SEMの前処理 |
| 仕様 | ・成膜材料：白金、カーボン ・プラチナ成膜方式：ダイオード放電マグネトロン型 ・カーボン成膜方式：直接通電加熱蒸着 ・試料サイズ：最大φ60mm |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟 102号室 |
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