走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
![走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]](data/facility_item/1694408450_16.jpg)
装置名称 | 走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] |
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メーカー名 | SII ナノテクノロジー(株) |
型番 | L-Trace |
用途 | ・微細加工(評価・計測) |
仕様 | ・測定モード:コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡 ・走査範囲:水平100 x 100 um ・最大試料サイズ: 6インチφ ・付加機能:I-V測定及びマッピング |
利用時間単位 | 時間(1h) |
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機器利用料金(税抜金額) |
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利用可能形態 |
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マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
設置場所 | 並木地区 MANA棟 506号室 |
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