走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
![走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]](data/facility_item/1694408450_16.jpg)
| 装置名称 | 走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] |
|---|---|
| メーカー名 | SII ナノテクノロジー(株) |
| 型番 | L-Trace |
| 用途 | ・微細加工（評価・計測） |
| 仕様 | ・測定モード：コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡 ・走査範囲：水平100 x 100 um ・最大試料サイズ： 6インチφ ・付加機能：I-V測定及びマッピング |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 並木地区 MANA棟 506号室 |
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