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共用設備

走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]

走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
装置名称 走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
メーカー名 SII ナノテクノロジー(株)
型番 L-Trace
用途 ・微細加工(評価・計測)
仕様 ・測定モード:コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡
・走査範囲:水平100 x 100 um
・最大試料サイズ: 6インチφ
・付加機能:I-V測定及びマッピング
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 506号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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