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共用設備

室温プローバー [MX-200/B]

室温プローバー [MX-200/B]
装置名称 室温プローバー [MX-200/B]
メーカー名 ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー
型番 MX-200/B, B1500A
用途 ・I-V/C-V特性評価
・微細加工(電気測定)
仕様 ・プローブ 同軸プローブ
・マニピュレータ 4基
・I-V測定端子 4ユニット
・C-V測定端子 1ユニット
・試料サイズ 最大φ4インチ
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関3,000円/時間
  • 中小企業5,000円/時間
  • 大企業10,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 千現地区 材料信頼性実験棟 117号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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