室温プローバー [MX-200/B]
![室温プローバー [MX-200/B]](data/facility_item/1562899949_2.jpg)
| 装置名称 | 室温プローバー [MX-200/B] |
|---|---|
| メーカー名 | ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー |
| 型番 | MX-200/B, B1500A |
| 用途 | ・I-V/C-V特性評価 ・微細加工（電気測定） |
| 仕様 | ・プローブ 同軸プローブ ・マニピュレータ 4基 ・I-V測定端子 4ユニット ・C-V測定端子 1ユニット ・試料サイズ 最大φ4インチ |
| 利用時間単位 | 時間（1h） |
|---|---|
| 機器利用料金（税抜金額） |
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| 利用可能形態 |
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| マテリアル先端リサーチインフラの利用 | ○ |
| 問い合わせ先部署 | 微細加工ユニット |
| 設置場所 | 千現地区 材料信頼性実験棟 117号室 |
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